球面像差(sphcⅡcal aberration),簡稱球差。最低階的是z9,其表現(xiàn)如圖7.73所示,平行人射的光隨著距離光軸的距離不同經(jīng)過透鏡聚焦在不同的焦點上。 U2730B-BFSGI球差是一種軸上的對稱像差。它在光刻工藝當(dāng)中的表現(xiàn)形式是影響最佳焦距,如圖7.74所示。

   當(dāng)不同空間周期的圖形出現(xiàn)在同一片掩膜版上,由于它們的衍射光的角度各不相同(囚為空間周期不同),如果鏡頭具有球差,那么,這些圖形的衍射光由于經(jīng)過鏡頭不同的地方會具有不同的最佳焦距。圖7,75顯示了一臺⒛8nm光刻機在不同空間周期的一維密集圖形上的線寬隨焦距變化的函數(shù)圖(實測值)[3司。從圖中可以看出這種影響還是不算小的。我們可以使用如圖7.76的方法,將所測的焦距偏差轉(zhuǎn)換為球差。