彗星像差
發(fā)布時間:2017/10/30 21:19:58 訪問次數(shù):806
彗星像差(coma),簡稱彗差。是一種U4065B-MFLG3非對稱像差。最低階的是zi(X方丨句)、Z:(Y方向),如圖7.77(a)所示,在離軸的位置上,光線經(jīng)過透鏡的不同部位聚焦在不同位置的焦平面卜,如Fl、F2。它對光刻△藝所造成的影響是當某圖形的左右兩側(cè)的其他圖形分布不同時,由于彗差散射出來的光不一佯,造成左右兩側(cè)的空問像不對稱。一種簡 單的方法由圖7.77(b)所示,由于彗差的非對稱性,左有兩 根線將會被測得不同的線寬。彗差還會造成空閘像的發(fā)散(I藝窗口下降)和空間平移(套刻的漂移)。所以彗差是必須被消除的。
彗星像差(coma),簡稱彗差。是一種U4065B-MFLG3非對稱像差。最低階的是zi(X方丨句)、Z:(Y方向),如圖7.77(a)所示,在離軸的位置上,光線經(jīng)過透鏡的不同部位聚焦在不同位置的焦平面卜,如Fl、F2。它對光刻△藝所造成的影響是當某圖形的左右兩側(cè)的其他圖形分布不同時,由于彗差散射出來的光不一佯,造成左右兩側(cè)的空問像不對稱。一種簡 單的方法由圖7.77(b)所示,由于彗差的非對稱性,左有兩 根線將會被測得不同的線寬。彗差還會造成空閘像的發(fā)散(I藝窗口下降)和空間平移(套刻的漂移)。所以彗差是必須被消除的。
相關技術資料- 10-30彗星像差
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