一種化學增幅的光刻膠在深紫外光加上酸的催化反應結構式
發(fā)布時間:2017/10/30 21:32:23 訪問次數(shù):600
由圖7,83所示的結構式實際上是國際商業(yè)機器公司(International BusinessMachines,IBM)第一代~9d8nm的化學增幅的光刻膠,叫做APEX。UC2842A由于化學增幅的光刻膠的酸催化反應,它對光的吸收變得很小,深紫外光可以投射到光刻膠底部,斷面形貌也因此變得接近垂直,如圖7.81(b)所示。不過,由于光刻膠曝光顯影依賴光酸的催化反應,如果工廠里面的空氣中含有堿性(Basc)成分,如氨氣、氨水(Amm。nia)、胺類有機化合物(Amine),對光刻膠頂部的滲透中和了一部分光酸,導致頂部局部線寬變大,嚴重時會導致線條粘連。
由圖7,83所示的結構式實際上是國際商業(yè)機器公司(International BusinessMachines,IBM)第一代~9d8nm的化學增幅的光刻膠,叫做APEX。UC2842A由于化學增幅的光刻膠的酸催化反應,它對光的吸收變得很小,深紫外光可以投射到光刻膠底部,斷面形貌也因此變得接近垂直,如圖7.81(b)所示。不過,由于光刻膠曝光顯影依賴光酸的催化反應,如果工廠里面的空氣中含有堿性(Basc)成分,如氨氣、氨水(Amm。nia)、胺類有機化合物(Amine),對光刻膠頂部的滲透中和了一部分光酸,導致頂部局部線寬變大,嚴重時會導致線條粘連。
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