晶圓加工過程要重復(fù)某些加工步驟,通常重復(fù)步驟要求相同的加工條件,因此晶K7A403609B-PC25圓可能會訪問一個加工腔體多次,這種加工模式稱為重入晶圓流模式釗。針對重入晶圓流模式調(diào)度問題,可以通過時間Petri網(wǎng)構(gòu)造模型,并用P-不變量方法分析穩(wěn)態(tài)性能卩5’3刨。本章參考文獻(xiàn)[35]采用面向資源的著色時間Pctri網(wǎng)對集束型半導(dǎo)體裝備的重入流程模式進(jìn)行建模,描述系統(tǒng)加工過程,并從定性和定量兩個角度分析模型的死鎖問題和產(chǎn)能,研究避免死鎖的策略。為避免重入流程模式的死鎖發(fā)生,找到優(yōu)化的調(diào)度方式,本章參考文獻(xiàn)[36]首先給出單臂集束型裝備的Petri網(wǎng)模型和死鎖控制策略,推導(dǎo)出調(diào)度整個系統(tǒng)的方法。

   因?yàn)樗梨i會導(dǎo)致晶圓加工過程受阻,大大降低裝備的性能。本章參考文獻(xiàn)[37]就集束型裝備的死鎖處理策略做了專門的研究,提出檢測死鎖、解決死鎖、預(yù)防死鎖發(fā)生的方法。在低壓化學(xué)氣相淀積過程中,當(dāng)一片晶圓在腔體中被加工完成后,它在一定的時間范

圍內(nèi)必須離開加工腔體,否則,腔體內(nèi)殘留的氣體和高溫可能會造成晶圓的損壞,這種約束被定義為晶圓滯留時間約束。伍乃琪采用Petri網(wǎng)方法,在考慮滯留時間約束的集束型裝備的建模和調(diào)度分析方面做了大量的研究工作卩3卩:“1]。伍乃琪為同時實(shí)現(xiàn)對系統(tǒng)的定量和定性分析,構(gòu)建能描述集束型裝備動態(tài)行為特性的面向?qū)ο驪etri網(wǎng)(Co1oredRcsourcc-oriclltcd Petri Nct,CROPN)。CRoPN是一種有限容量的Pctri網(wǎng)。在該模型中,集束型裝備的機(jī)械手被描述為兩個有限容量的庫所'l和幻。如果這兩個庫所中只有其中一個有標(biāo)記,則表示是單臂集束型裝各;若兩個庫所中均有標(biāo)記,則表示是雙臂集束型裝各。

   該模型解決離散事件系統(tǒng)建模規(guī)模巨大的問題。這一模型不依賴于工藝流程,也不受參數(shù)變化的影響,同時可以適應(yīng)單臂和雙臂集束型裝備,是離散事件建模問題中的非常重要的進(jìn)展。特別在所建立的模型中,根據(jù)問題的特點(diǎn)描述機(jī)械手的等待這一事件,這為進(jìn)一步研究系統(tǒng)的控制和調(diào)度方法提供保障。