本章參考文獻(xiàn)[36,38]首先構(gòu)造單臂集束型裝備的面向資源Pctri網(wǎng)模型,分析具K8D1716UTC-PI07有滯留時(shí)間約束調(diào)度問題的系統(tǒng)可調(diào)度性,同時(shí)推導(dǎo)出一個(gè)分析性的調(diào)度算法,用來確定可調(diào)度系統(tǒng)的周期性調(diào)度方案。本章參考文獻(xiàn)卩9,硐]主要的研究對(duì)象為雙臂機(jī)械手集束型裝各,分析的過程和思路與單臂集束型裝備一致。在實(shí)際加工中,集束型裝備實(shí)際加工過程的活動(dòng)時(shí)間并不是確定值,它是在一定范圍內(nèi)的隨機(jī)值,而活動(dòng)時(shí)間的變化經(jīng)常會(huì)導(dǎo)致晶圓滯留時(shí)間的波動(dòng),使得最初可行的調(diào)度方案變得不可行。針對(duì)這一特點(diǎn),本章參考文獻(xiàn)構(gòu)造系統(tǒng)的Pc“i網(wǎng)模型并確定實(shí)時(shí)控制策略,對(duì)雙臂集束型裝備的晶圓滯留時(shí)間變化做了詳細(xì)的分析,給出一個(gè)有效方法。應(yīng)用該方法可以進(jìn)行系統(tǒng)可調(diào)度性分析,以找 到優(yōu)化的調(diào)度方案。