另外,機械手在搬運晶圓過程中,還具有以下特點。

   (1)機械手每隔一個生產(chǎn)周期重復一組相同的機械手活動序列,每個周期中僅有一個晶圓進入, NCP1230D65R2G并且有一個晶圓離開裝備。

   (2)在生產(chǎn)周期內(nèi),機械手在每個工序中所執(zhí)行的卸載和裝載活動僅發(fā)生一次。

   以上系統(tǒng)是一類典型循環(huán)加工的制造單元。制造單元重復一次相同狀態(tài)的時間長度為生產(chǎn)周期,也就是生產(chǎn)節(jié)拍,直接決定著系統(tǒng)的產(chǎn)能和效率。這種循環(huán)式生產(chǎn)方式容易理解和實現(xiàn),并且易于控制,因此在工業(yè)界得到廣泛應用田。這類問題的調(diào)度和規(guī)劃目標是

確定機械手活動序列(搬運作業(yè))以使生產(chǎn)周期最小化,問題的時序約束條件(以下簡稱約束)包括如下。

   (1)機械手能力約束,同一時間內(nèi)機械手只能搬運一個晶圓。

   (2)加工模塊能力約束,機械手從加工模塊卸載晶圓和裝載晶圓到加工模塊的活動受力口工時間限制。

   (3)并行模塊約束,每周期只有一個加工模塊參與機械手卸載和裝載活動。

   (4)重入模塊約束,機械手活動不能發(fā)生時序沖突。