根據(jù)集束型裝備每個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)加工的晶圓種類,調(diào)度問(wèn)題可分為單流集束型裝備調(diào)度問(wèn)題和混流集束型裝備調(diào)度問(wèn)題。單流集束型裝備是指每個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)只有一種類型的晶圓進(jìn)入和離開集束型裝備。 NCP1252A相應(yīng)的,混流集束型裝備是指每個(gè)生產(chǎn)周期時(shí)間內(nèi),在集束型裝備混合連續(xù)地生產(chǎn)R個(gè)不同類型的晶圓。此外,根據(jù)集束型裝備每個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)處理的晶圓個(gè)數(shù),還可將單流集束型裝備生產(chǎn)方式再分為1晶圓生產(chǎn)和乃晶圓生產(chǎn),前者在每生產(chǎn)周期內(nèi)只有1個(gè)晶圓進(jìn)入和離開集束型裝備,而后者在每個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)有R個(gè)相同類型的晶圓進(jìn)入和離開集束型裝備,其中R≥2,相關(guān)介紹見1.5.1節(jié)。

   目前,已有文獻(xiàn)主要集中在研究單流集束型裝備的機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)調(diào)度問(wèn)題,采用的模型主要有數(shù)學(xué)規(guī)劃法、事件圖、Pctri網(wǎng)等[10~1刨。目前研究混流集束型裝備調(diào)度問(wèn)題的研究文獻(xiàn)較少,主要因?yàn)椴煌愋途A有著不同的加工路線和約束條件,致使該調(diào)度問(wèn)題 比己有文獻(xiàn)研究的問(wèn)題更加復(fù)雜。針對(duì)加工R=2種類型晶圓調(diào)度問(wèn)題,最具有代表性的 是Lec等給出了加工R乇種類型晶圓的改進(jìn)Pu11和Swap策略,但沒有考慮滯留時(shí)間約束,并且該策略的局限是不能求解兩種以上的不同類型晶圓的調(diào)度問(wèn)題(l刀。針對(duì)R)2調(diào)度問(wèn)題,周炳海等提出了基于時(shí)間約束集方法的逐級(jí)回溯啟發(fā)式算法,但他們的算法都基于假定給定的晶圓加工順序,僅對(duì)機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)的順序進(jìn)行了優(yōu)化。Jung等提出了基于Petri網(wǎng)模型轉(zhuǎn)換事件圖的混合整數(shù)規(guī)劃模型及分支定界算法,但以Pe“i網(wǎng)為基礎(chǔ)的模型和算法復(fù)雜,不能明確描述調(diào)度問(wèn)題的約束條件,不適合實(shí)際生產(chǎn)的需求m,21]。本節(jié)在4.2節(jié)調(diào)度模型的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步展開深入分析和研究,給出混流集束型裝各調(diào)度問(wèn)題的混合整數(shù)規(guī)劃模型。