隨著半導(dǎo)體制造工藝的日趨復(fù)雜,出現(xiàn)了由多個單集束型裝備通過緩沖模塊連接而成的多集束型裝備。 NCP1654BD65R2G多集束型裝備具有多個單臂或者雙臂機械手,其調(diào)度和產(chǎn)能分析比單集束型裝備更加復(fù)雜,主要體現(xiàn)在以下幾方面。

   (1)緩沖模塊的耦合效應(yīng)復(fù)雜化了多集束型裝備的調(diào)度,每個單集束型裝備的調(diào)度不僅影響相鄰的單集束型裝備的調(diào)度,而且也影響其他不直接相鄰的單集束型裝備的調(diào)度。

   (2)阻塞會從一個單集束型裝備傳播到其他單集束型裝備,導(dǎo)致多集束型裝備的產(chǎn)能分析變得困難。

   (3)緩沖模塊使每個單集束型裝備內(nèi)的晶圓數(shù)日經(jīng)常發(fā)生變化。如果加工過多的晶圓有可能產(chǎn)生死鎖,反之過少的晶圓會使某些加工模塊產(chǎn)生饑餓。本章5.2節(jié)研究了單臂機械手的兩集束型裝備調(diào)度問題�？紤]非零機械手搬運時間,采用分解方法將兩集束型裝備分解為兩個單集束型裝備,建立了調(diào)度問題的線性規(guī)劃模型;并提出了基于分解方法和線性規(guī)劃模型的搜索算法�？紤]將52節(jié)的分解方法應(yīng)用到多集束型裝備的調(diào)度問題,將面臨著分析機械手避免碰撞條件過于復(fù)雜而無法求解的問題,因此要根據(jù)多集束型裝各的特點,尋找新的解決方法。與兩集束型裝備的緩沖模塊不同:光刻工藝Track系統(tǒng)的緩沖模塊還具有加工能力,稱為緩沖加I模塊(Buffcr ProccssModtlk,BPM)。緩沖加工模塊使多集束型裝備的結(jié)構(gòu)更加緊湊,節(jié)約了設(shè)備空間和成本。多集束型裝備的晶圓加工是循環(huán)生產(chǎn)過程,每次循環(huán)產(chǎn)生庀片類型相同的晶圓,機械手和加工活動再次回到初始狀態(tài),其機械手活動序列稱為庀晶圓周期序列,簡稱庀序列,當(dāng)=1稱為單序列。針對多集束型裝備調(diào)度的庀晶圓周期序列問題,本章5.3節(jié)提出了一種構(gòu)造庀序列的策略和構(gòu)造算法。