已有的研究成果主要針對單集束型的調度,對多集束型裝備調度的研究成果并不多。NCP303LSN30T1G多集束型裝備的調度方法主要有基于資源的周期性分析方法、基于事件圖的網絡流方法及分解方法等,但已有方法都假設零機械手搬運時間,即未考慮機械手搬運時間對生產周期的影響,因此與實際的半導體生產有一定差異。在已有研究中,推導生產周期下界具有通用性,但難以利用多機械手調度中的某些約束(如無沖突約束);事件圖和Pc訂i網建模方法描述精細,但復雜不易理解;數學規(guī)劃模型可利用運籌學方法和商業(yè)軟件進行求解,但不適合求解大規(guī)模問題(10個以上加工模塊)。多集束型裝各的可分解性使問題分解成較小的子問題成為可能圇。

   多集束型裝備調度問題可以分解為單個集束型裝備調度問題,然后利用單集束型裝備的求解方法進行求解,這樣可以減少計算的復雜性。在不考慮機械手搬運時間條件下,把多集束型裝備分解為Κ個等價的單集束型裝備的調度,緩沖模塊對于相鄰的兩個集束型裝備被視為分解后的虛擬加工模塊和虛擬輸入/輸出裝載室。本章參考文獻凹給出了生產周期的計算公式和基于“無等待”策略的機械手調度算法。以上方法基于某些假設條件滿足時,采用單臂機械手的Pull策略規(guī)劃機械手搬運作業(yè)安排。但由于多集束型裝備中多個 機械手的存在及各個集束型裝備之間的緩沖模塊的存在,單集束型裝備的結論已經不能應用到多集束型裝備的情況。而且,緩沖模塊也可能是具有加工能力的加工模塊,這導致更多可選的調度方案,使調度問題更加復雜。本節(jié)根據兩集束型裝各的負載并不均衡的情況,采用基于分解方法和線性規(guī)劃模型的搜索算法求解調度問題。