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根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)E2196定義

發(fā)布時(shí)間:2017/12/7 20:39:58 訪問次數(shù):530

   根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)E2196定義,集束型裝備由晶圓加工模塊和機(jī)械手搬運(yùn)設(shè)各組成,廣JS28F128J3D75泛應(yīng)用于集成電路生產(chǎn)線。對(duì)某些加工過程而言,晶圓滯留時(shí)間約束非常嚴(yán)格。該約束要求當(dāng)晶圓在加工模塊完成加工后,必須在給定時(shí)間范圍內(nèi)從加工模塊移出,否則該晶圓可能被加工模塊內(nèi)殘余的化學(xué)氣體和高溫?fù)p壞判。由于集束型裝備只有一個(gè)物料搬運(yùn)機(jī)械手,且加工模塊間沒有緩沖空間,因此調(diào)度機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)使晶圓及時(shí)離開加工模塊(即滿足晶圓的滯留時(shí)間約束)非常困難。在某些情況下,不存在可行調(diào)度,因此集束型裝備首先保證存在可行調(diào)度方案,即問題的可調(diào)度性,然后才是求解最優(yōu)調(diào)度。該調(diào)度問題類似于抓鉤調(diào)度。但兩者之間存在一些差別,如集束型裝備存在并行加工和雙臂機(jī)械手等。該調(diào)度問題也不同于帶搬運(yùn)時(shí)間的車間調(diào)度問題,主要在于車間調(diào)度問題強(qiáng)調(diào)工件排序優(yōu)化,對(duì)機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)通常采用啟發(fā)式規(guī)則,不能保證機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)的最優(yōu)性阝^ql。針對(duì)集束型裝備的滯留時(shí)間約束調(diào)度存在著兩類方法:一類強(qiáng)調(diào)基于單臂機(jī)械手的Pull策略和雙臂機(jī)械手的swap策略[10~1釗,研究這兩種策略在滿足何種條件是有效的,即提出可調(diào)度 性的充分必要條件,通過此可調(diào)度性條件,如果存在可行調(diào)度,給出基于機(jī)械手等待時(shí)間的調(diào)度算法,但不考慮不滿足此可調(diào)度性條件的調(diào)度方案,使該方法應(yīng)用范圍有限;另外一類首先利用PctⅡ網(wǎng)建模并轉(zhuǎn)換成事件圖,再把事件圖轉(zhuǎn)化為對(duì)應(yīng)的混合整數(shù)規(guī)劃模型,利用CPLEX軟件求解該模型可以得到最優(yōu)調(diào)度方案,但該模型中約束條件表現(xiàn)為庫所和變遷的約束,致使模型復(fù)雜,月^無法表示調(diào)度問題所需的機(jī)械手能力約束、加工模塊能 力約束等,不適合工程的實(shí)際應(yīng)用。


   根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)E2196定義,集束型裝備由晶圓加工模塊和機(jī)械手搬運(yùn)設(shè)各組成,廣JS28F128J3D75泛應(yīng)用于集成電路生產(chǎn)線。對(duì)某些加工過程而言,晶圓滯留時(shí)間約束非常嚴(yán)格。該約束要求當(dāng)晶圓在加工模塊完成加工后,必須在給定時(shí)間范圍內(nèi)從加工模塊移出,否則該晶圓可能被加工模塊內(nèi)殘余的化學(xué)氣體和高溫?fù)p壞判。由于集束型裝備只有一個(gè)物料搬運(yùn)機(jī)械手,且加工模塊間沒有緩沖空間,因此調(diào)度機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)使晶圓及時(shí)離開加工模塊(即滿足晶圓的滯留時(shí)間約束)非常困難。在某些情況下,不存在可行調(diào)度,因此集束型裝備首先保證存在可行調(diào)度方案,即問題的可調(diào)度性,然后才是求解最優(yōu)調(diào)度。該調(diào)度問題類似于抓鉤調(diào)度。但兩者之間存在一些差別,如集束型裝備存在并行加工和雙臂機(jī)械手等。該調(diào)度問題也不同于帶搬運(yùn)時(shí)間的車間調(diào)度問題,主要在于車間調(diào)度問題強(qiáng)調(diào)工件排序優(yōu)化,對(duì)機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)通常采用啟發(fā)式規(guī)則,不能保證機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)的最優(yōu)性阝^ql。針對(duì)集束型裝備的滯留時(shí)間約束調(diào)度存在著兩類方法:一類強(qiáng)調(diào)基于單臂機(jī)械手的Pull策略和雙臂機(jī)械手的swap策略[10~1釗,研究這兩種策略在滿足何種條件是有效的,即提出可調(diào)度 性的充分必要條件,通過此可調(diào)度性條件,如果存在可行調(diào)度,給出基于機(jī)械手等待時(shí)間的調(diào)度算法,但不考慮不滿足此可調(diào)度性條件的調(diào)度方案,使該方法應(yīng)用范圍有限;另外一類首先利用PctⅡ網(wǎng)建模并轉(zhuǎn)換成事件圖,再把事件圖轉(zhuǎn)化為對(duì)應(yīng)的混合整數(shù)規(guī)劃模型,利用CPLEX軟件求解該模型可以得到最優(yōu)調(diào)度方案,但該模型中約束條件表現(xiàn)為庫所和變遷的約束,致使模型復(fù)雜,月^無法表示調(diào)度問題所需的機(jī)械手能力約束、加工模塊能 力約束等,不適合工程的實(shí)際應(yīng)用。


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