本章在首先研究集束型裝各可調(diào)度性問(wèn)題,建立了包括機(jī)械手和加工模塊時(shí)序約束關(guān)系的數(shù)學(xué)規(guī)劃模型。 JS28F256P30B95在此模型基礎(chǔ)上,分析了機(jī)械手和加工模塊周期性加工和搬運(yùn)晶圓過(guò)程,從理論上證明了集束型裝備可調(diào)度性的充要條件,并給出該條件的解析表達(dá)式;然后提出了一種基于線性規(guī)劃模型和沖突控制策略的搜索方法。該算法使用增加的基本周期作為控制參數(shù),以產(chǎn)生不同的搬運(yùn)順序,對(duì)每個(gè)給定的運(yùn)送順序,用線性規(guī)劃模型求得問(wèn)題的最優(yōu)解和并且判斷存在無(wú)沖突的可行解。在搜縈中,為了避免機(jī)器手活動(dòng)的沖突,采用了左移和延展的沖突控制策略。利用52節(jié)的分解思想解決有滯留時(shí)問(wèn)約束的多集束型裝備優(yōu)化調(diào)度問(wèn)題,首先提出了包括加工模塊加I約束和機(jī)械手搬運(yùn)約束的調(diào)度模型,然后理論證明了該類調(diào)度問(wèn)題的生產(chǎn)周期F界,并提出了基于分解思想的啟發(fā)式調(diào)度方法。