傳感器的微機械薄膜暴露在壓力差下
發(fā)布時間:2019/4/24 21:19:51 訪問次數(shù):1294
一個經(jīng)典的例子是在圖2.10a中所示電阻式傳感器(例如應(yīng)變式傳感器),在圖2,10b中是用惠斯頓電橋合并表示的對溫度的交叉靈敏度的補償。4個電阻R1~凡都對被測量值x敏感(例如應(yīng)力):隨著X值得增加,電阻R1和凡增加,電阻R2和凡減小。因此,X的改變會引起電橋的不平衡,導(dǎo)致差分輸出電壓吒m的改變。假設(shè)所有電阻都等同地受干擾量C交叉敏感的影響,相對而言,干擾量C(如溫度)的改變不會改變電橋平衡,因此不會影響。
例如,這個技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用在集成壓敏傳感器上,用來補償對溫度的交叉靈敏度。傳感器的微機械薄膜暴露在壓力差下,所產(chǎn)生的偏移由集成在薄膜上的壓敏電阻測量。它們的響應(yīng)信號所需要的差值是靠使用不同方向的電阻獲得的(例如薄膜邊緣的垂直與平行方向)。另一個較新使用差分傳感來補償微機械加速度計的溫度交叉靈敏度的例子,在本章參考文獻(xiàn)中可以找到。
圖2.10 a)將兩個完全相同的傳感器暴露在相反符號的被測量中進(jìn)行交叉靈敏度補償;b)在惠斯頓電橋中實現(xiàn)這一原理的補償當(dāng)然,并不是所有種類的傳感器都能像檢測X引起相反信號那樣進(jìn)行補償。在某些不可能實現(xiàn)的情況下,可以屏蔽傳感器中的一個以避免其接觸測量值作為替代方案。正如圖2,11中舉例所示,傳感器的輸出會成為只有干擾量C的函數(shù),然而主傳感器仍然是X和C的函數(shù)。同樣可以通過兩個傳感器輸出之差獲得補償。
一個經(jīng)典的例子是在圖2.10a中所示電阻式傳感器(例如應(yīng)變式傳感器),在圖2,10b中是用惠斯頓電橋合并表示的對溫度的交叉靈敏度的補償。4個電阻R1~凡都對被測量值x敏感(例如應(yīng)力):隨著X值得增加,電阻R1和凡增加,電阻R2和凡減小。因此,X的改變會引起電橋的不平衡,導(dǎo)致差分輸出電壓吒m的改變。假設(shè)所有電阻都等同地受干擾量C交叉敏感的影響,相對而言,干擾量C(如溫度)的改變不會改變電橋平衡,因此不會影響。
例如,這個技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用在集成壓敏傳感器上,用來補償對溫度的交叉靈敏度。傳感器的微機械薄膜暴露在壓力差下,所產(chǎn)生的偏移由集成在薄膜上的壓敏電阻測量。它們的響應(yīng)信號所需要的差值是靠使用不同方向的電阻獲得的(例如薄膜邊緣的垂直與平行方向)。另一個較新使用差分傳感來補償微機械加速度計的溫度交叉靈敏度的例子,在本章參考文獻(xiàn)中可以找到。
圖2.10 a)將兩個完全相同的傳感器暴露在相反符號的被測量中進(jìn)行交叉靈敏度補償;b)在惠斯頓電橋中實現(xiàn)這一原理的補償當(dāng)然,并不是所有種類的傳感器都能像檢測X引起相反信號那樣進(jìn)行補償。在某些不可能實現(xiàn)的情況下,可以屏蔽傳感器中的一個以避免其接觸測量值作為替代方案。正如圖2,11中舉例所示,傳感器的輸出會成為只有干擾量C的函數(shù),然而主傳感器仍然是X和C的函數(shù)。同樣可以通過兩個傳感器輸出之差獲得補償。
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