圖5.35顯示了整個(gè)的接口。感應(yīng)/反饋轉(zhuǎn)換時(shí)間復(fù)用了位移感應(yīng)和反饋的同一組電極,ADAU1701JSTZ來(lái)實(shí)施相應(yīng)的感應(yīng)和驅(qū)動(dòng)執(zhí)行。一個(gè)數(shù)字化的評(píng)估量在前端之前加入了帶外的導(dǎo)頻基調(diào)來(lái)監(jiān)測(cè)驅(qū)動(dòng)和感應(yīng)諧振頻率之間的失配。估計(jì)量反饋進(jìn)人累加器,從而生成一個(gè)電壓用于靜電調(diào)整感應(yīng)諧振頻率。需要11位精度來(lái)實(shí)現(xiàn)所需的調(diào)諧精度。數(shù)-模轉(zhuǎn)換器通過(guò)1位調(diào)制器和一個(gè)開(kāi)關(guān)電容積分器來(lái)實(shí)現(xiàn),該積分器充當(dāng)累加器兼做重建濾波器。積分器的漏電和偏置產(chǎn)生了系統(tǒng)的模式失配。一個(gè)帶無(wú)線(xiàn)直流增益的數(shù)字π型濾波器可以消除這個(gè)誤差。使用一個(gè)三位的數(shù)-模轉(zhuǎn)換器應(yīng)用調(diào)制校準(zhǔn),高頻脈沖,偏置補(bǔ)償信號(hào)。在前端放大器之前而不是之后引人它們,則大的偏置會(huì)在放大器前被去掉。由此產(chǎn)生的由前端感應(yīng)的較小的信號(hào)便于使跳動(dòng)、漂移、跨導(dǎo)變化以及非線(xiàn)性微分對(duì)的不利影響降到最低。下面的部分將詳細(xì)說(shuō)明關(guān)鍵模塊的電路細(xì)節(jié)。