為了在靈敏度要求的范圍內獲得滿意的曝光,并得到用于X射線照相試驗的器件或缺陷特征圖像的最詳細細節(jié),ACPL-247-500E必須調整或選擇X射線曝光系數、電壓、電流和時間。

   1.安裝和觀察

   器件應安裝在夾具中,使其不受損壞或沾污,并在規(guī)定的適當平面上。夾具可是多種類型的帶有鉛隔膜或鋇土的擋板,用來隔開多個樣品,但要求夾具或擋板材料不妨礙從X射線源到器件本體任何部位的觀察。

   1)對扁平封裝、雙列直插封裝及單端圓柱形器件的觀察對扁平封裝、雙列直插封裝及單端圓柱形器件,用X射線穿透視察一次。在需要一次以上的觀察時,用X射線分別在Z方向和X方向進行第二次、第三次穿透視察。對于扁平封裝,z方向或者X方向均可。把芯片與腔體的界面盡可能放在靠近底片處,以避免影像失真。

   2)對雙端螺栓安裝的器件和圓柱形軸向引線器件的觀察將雙端螺栓安裝的器件和圓柱形軸向引線器件,用X射線穿透觀察一次。在需要一次以上的觀察時,在z方向和在X及z方向之間的45°方向上,用X射線穿透進行第二次和第三次觀察。把芯片與腔體的界面放在盡可能靠近底片處,以避免影像失真。

   2.X射線照片質量標準

   每一張X射線照片至少有兩個位于兩角上通過曝光形成的(適當地做標記)用于分析比較曝光質量的標準(透度計),它具有與被檢器件最接近的X射線照相黑度。X射線照片質量標準應符合電子器件X射線照相試驗質量控制的適用標準,或者其他等效標準中的規(guī)定。

   3.試驗

   選擇X射線曝光系數以達到主尺寸分辨率為0.Ⅱ54mm,失真小于10%,應對每一需要的觀察角度拍攝X射線照片。

   4.射線照∴片的分析

   采用本方法規(guī)定的設備進行X射線照片檢查來確定每個器件是否符合本標準,有缺陷的器件應拒收。應在X射線照片表面上沒有眩光的、低光強的條件下對X射線照片進行分析。在投影型觀察設備上及強度可變的適當光源下,或適于X射線檢查的觀察器上檢查X射線照片。應放大6~25倍來觀察X射線照片。必要時,可采用觀察屏。不能清楚表征X射線質量的標準圖像特征的照片不得接收,應重新拍攝該器件的X射線照片。