高斯電子束曝光系統(tǒng)
發(fā)布時間:2008/6/5 0:00:00 訪問次數(shù):496
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| [簡介]: 電子束光刻技術(shù)是納米級加工技術(shù)的主要手段，在納米器件加工、掩模制造、新器件新結(jié)構(gòu)加工中扮演舉足輕重的角色。 | |
| 高斯電子束曝光系統(tǒng) |
| 楊清華，劉明，陳大鵬，葉甜春 |
| (中國科學院微電子研究所納米加工與新器件集成技術(shù)重點實驗室，北京 100029） |
摘 要：電子束光刻技術(shù)是納米級加工技術(shù)的主要手段，在納米器件加工、掩模制造、新器件新結(jié)構(gòu)加工中扮演舉足輕重的角色。雖然現(xiàn)在最先進的電子束聚焦技術(shù)可以得到幾個納米的電子束斑
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| [簡介]: 電子束光刻技術(shù)是納米級加工技術(shù)的主要手段，在納米器件加工、掩模制造、新器件新結(jié)構(gòu)加工中扮演舉足輕重的角色。 | |
| 高斯電子束曝光系統(tǒng) |
| 楊清華，劉明，陳大鵬，葉甜春 |
| (中國科學院微電子研究所納米加工與新器件集成技術(shù)重點實驗室，北京 100029） |
摘 要：電子束光刻技術(shù)是納米級加工技術(shù)的主要手段，在納米器件加工、掩模制造、新器件新結(jié)構(gòu)加工中扮演舉足輕重的角色。雖然現(xiàn)在最先進的電子束聚焦技術(shù)可以得到幾個納米的電子束斑
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