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工藝化學(xué)品

發(fā)布時(shí)間:2008/6/5 0:00:00 訪問(wèn)次數(shù):373

很明顯,需要很多工藝來(lái)將原始半導(dǎo)體材料轉(zhuǎn)變?yōu)橛杏玫钠骷,大部份的工藝使用化學(xué)品。芯片制造首要是一種化學(xué)工藝,或者更準(zhǔn)確地說(shuō)是一系列化學(xué)工藝,高達(dá)20%工藝步驟是清洗和晶圓表面的準(zhǔn)備。6
半導(dǎo)體工廠消耗大量的酸,堿,溶劑和水。為達(dá)到精確和潔凈的工藝,部分成本是由于化學(xué)品需要非常高的純度和特殊的反應(yīng)機(jī)理。晶圓越大,潔凈度要求越高,相應(yīng)就需要更多的自動(dòng)清洗位置,清洗所用化學(xué)品的成本也就跟著升高。當(dāng)把芯片的制造成本加在一起,其中化學(xué)品占總制造成本可達(dá)40%。
對(duì)半導(dǎo)體工藝化學(xué)品潔凈度的要求在第四章介紹。在工藝章節(jié)會(huì)詳細(xì)介紹特定化學(xué)品和它們的特性。
分子,化合物和混合物
2.3.1節(jié),用玻爾原子模型解釋物質(zhì)的基本結(jié)構(gòu)。這個(gè)模型可解釋組成自然界所有物質(zhì)的元素之間的結(jié)構(gòu)差異,但是很顯然自然界中超過(guò)了103(元素的數(shù)目)種物質(zhì)。
非元素材料的基本單位是分子。水的基本單位是兩個(gè)氫原子和一個(gè)氧原子組成的分子。材料的多樣性源自原子之間相互結(jié)合形成分子。
每次我們想指定一個(gè)分子時(shí)就畫一個(gè)如圖2.15的圖表是不方便的,更常用的方式是寫出分子式。如水它就是熟悉的h2o

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半導(dǎo)體工廠消耗大量的酸,堿,溶劑和水。為達(dá)到精確和潔凈的工藝,部分成本是由于化學(xué)品需要非常高的純度和特殊的反應(yīng)機(jī)理。晶圓越大,潔凈度要求越高,相應(yīng)就需要更多的自動(dòng)清洗位置,清洗所用化學(xué)品的成本也就跟著升高。當(dāng)把芯片的制造成本加在一起,其中化學(xué)品占總制造成本可達(dá)40%。
對(duì)半導(dǎo)體工藝化學(xué)品潔凈度的要求在第四章介紹。在工藝章節(jié)會(huì)詳細(xì)介紹特定化學(xué)品和它們的特性。
分子,化合物和混合物
2.3.1節(jié),用玻爾原子模型解釋物質(zhì)的基本結(jié)構(gòu)。這個(gè)模型可解釋組成自然界所有物質(zhì)的元素之間的結(jié)構(gòu)差異,但是很顯然自然界中超過(guò)了103(元素的數(shù)目)種物質(zhì)。
非元素材料的基本單位是分子。水的基本單位是兩個(gè)氫原子和一個(gè)氧原子組成的分子。材料的多樣性源自原子之間相互結(jié)合形成分子。
每次我們想指定一個(gè)分子時(shí)就畫一個(gè)如圖2.15的圖表是不方便的,更常用的方式是寫出分子式。如水它就是熟悉的h2o
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