離子注入技術在IC制造中的應用
發(fā)布時間:2008/6/5 0:00:00 訪問次數(shù):561
隨著離子注入技術的發(fā)展，它的應用也越來越廣泛，尤其是在集成電路中的應用發(fā)展最快。由于離子注入技術具有很好可控性和重復性，這樣設計者就可根據(jù)電路或器件參數(shù)的要求，設計出理想的雜質分布，并用離子注入技術實現(xiàn)這種分布。
離子注入技術在ic制造中的應用
1) 對mos晶體管閾值電壓的控制
2)自對準金屬柵結構
3)離子注入在cmos結構中的應用
離子注入技術在ic制造中的應用
1) 對mos晶體管閾值電壓的控制
2)自對準金屬柵結構
3)離子注入在cmos結構中的應用
隨著離子注入技術的發(fā)展，它的應用也越來越廣泛，尤其是在集成電路中的應用發(fā)展最快。由于離子注入技術具有很好可控性和重復性，這樣設計者就可根據(jù)電路或器件參數(shù)的要求，設計出理想的雜質分布，并用離子注入技術實現(xiàn)這種分布。
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1) 對mos晶體管閾值電壓的控制
2)自對準金屬柵結構
3)離子注入在cmos結構中的應用
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