異質(zhì)結(jié)晶體管
發(fā)布時(shí)間:2012/4/26 19:32:03 訪問次數(shù):1159
上述雙極晶體管和場(chǎng)效應(yīng)晶體管都ATF16V8B-15PU是由一種半導(dǎo)體材料作為有源區(qū)以實(shí)現(xiàn)其載流子的輸運(yùn)功能，均屬于同質(zhì)結(jié)器件。由不同半導(dǎo)體材料制成的為異質(zhì)結(jié)器件，如異質(zhì)結(jié)雙極晶體管( HBT)、異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管(HEMT、HFET或MODFET)。異質(zhì)結(jié)器件其結(jié)兩邊的導(dǎo)電類型由各自的摻雜來控制。摻雜類型相同的稱為“同型異質(zhì)結(jié)”；摻雜類型不同的稱為“異型異質(zhì)結(jié)”。由于在GaAs、InP等化合物半導(dǎo)體材料加工中尚未找到類似S102那樣理想的掩蔽材料，因而限制了擴(kuò)散工藝的應(yīng)用。目前制作異質(zhì)結(jié)器件的方法主要是外延工藝，如液相外延(LPE)、分子束外延(MBE)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相淀積(MOCVD)。也可采用離子注入工藝，一方面是由于工藝溫度低，較易選擇掩蔽物，可以精確地控制摻雜量和摻雜剖面，橫向效應(yīng)小。但高能離子的注入會(huì)使晶格受到損傷，需要增加退火工藝予以恢復(fù)。
上述雙極晶體管和場(chǎng)效應(yīng)晶體管都ATF16V8B-15PU是由一種半導(dǎo)體材料作為有源區(qū)以實(shí)現(xiàn)其載流子的輸運(yùn)功能，均屬于同質(zhì)結(jié)器件。由不同半導(dǎo)體材料制成的為異質(zhì)結(jié)器件，如異質(zhì)結(jié)雙極晶體管( HBT)、異質(zhì)結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管(HEMT、HFET或MODFET)。異質(zhì)結(jié)器件其結(jié)兩邊的導(dǎo)電類型由各自的摻雜來控制。摻雜類型相同的稱為“同型異質(zhì)結(jié)”；摻雜類型不同的稱為“異型異質(zhì)結(jié)”。由于在GaAs、InP等化合物半導(dǎo)體材料加工中尚未找到類似S102那樣理想的掩蔽材料，因而限制了擴(kuò)散工藝的應(yīng)用。目前制作異質(zhì)結(jié)器件的方法主要是外延工藝，如液相外延(LPE)、分子束外延(MBE)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相淀積(MOCVD)。也可采用離子注入工藝，一方面是由于工藝溫度低，較易選擇掩蔽物，可以精確地控制摻雜量和摻雜剖面，橫向效應(yīng)小。但高能離子的注入會(huì)使晶格受到損傷，需要增加退火工藝予以恢復(fù)。
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