光刻版和光刻膠的質(zhì)量控制要求
發(fā)布時(shí)間:2012/4/28 19:29:14 訪問次數(shù):1081
光刻版和光刻膠是微電子器件的LMC555CM重要輔助材料，它們對(duì)光刻工藝的質(zhì)量起著決定性的作用。在微電子器件的生產(chǎn)過程中，光刻版和光刻膠的質(zhì)量控制不當(dāng)將會(huì)使圖形邊緣出現(xiàn)鋸齒和尖峰，引起結(jié)的低壓擊穿和金屬化系統(tǒng)的電遷移失效。光刻膠的顆粒和光刻版的針孔會(huì)在圖形上產(chǎn)生小島或針孔，它們會(huì)造成漏電或使擴(kuò)散結(jié)面出現(xiàn)尖峰引起低壓擊穿失效。光刻膠主要控制分辨率和顆粒度。分辨率的測(cè)量是利用分辨率測(cè)試圖形在高倍顯微鏡下觀測(cè)或用線寬測(cè)試儀來實(shí)現(xiàn)。顆粒度的測(cè)量是將稀釋過的光刻膠用一定孑L徑的過濾器過濾后用稱量法進(jìn)行的，或是按常規(guī)工藝在玻璃片或硅片上甩膠進(jìn)行烘干，后用顯微鏡進(jìn)行定量檢測(cè)。控制標(biāo)準(zhǔn)與器件圖形尺寸有關(guān)。
光刻版和光刻膠是微電子器件的LMC555CM重要輔助材料，它們對(duì)光刻工藝的質(zhì)量起著決定性的作用。在微電子器件的生產(chǎn)過程中，光刻版和光刻膠的質(zhì)量控制不當(dāng)將會(huì)使圖形邊緣出現(xiàn)鋸齒和尖峰，引起結(jié)的低壓擊穿和金屬化系統(tǒng)的電遷移失效。光刻膠的顆粒和光刻版的針孔會(huì)在圖形上產(chǎn)生小島或針孔，它們會(huì)造成漏電或使擴(kuò)散結(jié)面出現(xiàn)尖峰引起低壓擊穿失效。光刻膠主要控制分辨率和顆粒度。分辨率的測(cè)量是利用分辨率測(cè)試圖形在高倍顯微鏡下觀測(cè)或用線寬測(cè)試儀來實(shí)現(xiàn)。顆粒度的測(cè)量是將稀釋過的光刻膠用一定孑L徑的過濾器過濾后用稱量法進(jìn)行的，或是按常規(guī)工藝在玻璃片或硅片上甩膠進(jìn)行烘干，后用顯微鏡進(jìn)行定量檢測(cè)�？刂茦�(biāo)準(zhǔn)與器件圖形尺寸有關(guān)。
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