化學清洗材料的質(zhì)量控制要求
發(fā)布時間:2012/4/28 19:31:21 訪問次數(shù):793
電子器件生產(chǎn)中清洗的化FQPF13N50C學試劑有兩大類：無機清洗劑和有機清洗劑。無機清洗劑主要是硫酸、硝酸、鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氨水。有機清洗劑主要是甲苯、乙醇和丙酮�；瘜W清洗劑主要控制其不溶物含量、重金屬含量和鉀、鈉等有害雜質(zhì)含量。目前電子器件生產(chǎn)研制單位一般不具備化學試劑中微量雜質(zhì)的檢測手段，但要按控制指標要求定點購買，并委托第三方定期進行有關的質(zhì)量檢測。
化學試劑中雜質(zhì)的控制方法主要有：
①采用干法工藝取代濕法工藝。
②超凈高純試劑的儲存、運輸容器應滿足具有對化學品的惰性和不滲透性；與多數(shù)酸、堿和溶劑不反應，不滲入聚合物中的基本要求。目前廣泛使用的材料主要有高密度聚乙烯( HDPE)、四氟乙烯、全氟烷基乙烯、基醚共聚物（PFA亦稱可溶性四氟乙烯）和聚四氟乙烯(PTFE)。
③在亞微米、深亞微米工藝生產(chǎn)線中，可用現(xiàn)場顆粒監(jiān)控體系監(jiān)控電子級水，工藝化學品管線供應系統(tǒng)和清洗槽、蝕刻槽。清洗、蝕刻槽體系包括溶液再循環(huán)過濾系統(tǒng)和顆粒檢測。顆粒在線檢測傳感器（通常使用固體激光二極管）可檢測出尺
寸為0.08 pLm的顆粒。應用數(shù)據(jù)處理系繞，可連續(xù)監(jiān)控顆粒變化和污染的出現(xiàn)，改進產(chǎn)品工藝可靠性控制，提高產(chǎn)品的成品率和可靠性。
化學試劑中雜質(zhì)的控制方法主要有：
①采用干法工藝取代濕法工藝。
②超凈高純試劑的儲存、運輸容器應滿足具有對化學品的惰性和不滲透性；與多數(shù)酸、堿和溶劑不反應，不滲入聚合物中的基本要求。目前廣泛使用的材料主要有高密度聚乙烯( HDPE)、四氟乙烯、全氟烷基乙烯、基醚共聚物（PFA亦稱可溶性四氟乙烯）和聚四氟乙烯(PTFE)。
③在亞微米、深亞微米工藝生產(chǎn)線中，可用現(xiàn)場顆粒監(jiān)控體系監(jiān)控電子級水，工藝化學品管線供應系統(tǒng)和清洗槽、蝕刻槽。清洗、蝕刻槽體系包括溶液再循環(huán)過濾系統(tǒng)和顆粒檢測。顆粒在線檢測傳感器（通常使用固體激光二極管）可檢測出尺
寸為0.08 pLm的顆粒。應用數(shù)據(jù)處理系繞，可連續(xù)監(jiān)控顆粒變化和污染的出現(xiàn)，改進產(chǎn)品工藝可靠性控制，提高產(chǎn)品的成品率和可靠性。
電子器件生產(chǎn)中清洗的化FQPF13N50C學試劑有兩大類：無機清洗劑和有機清洗劑。無機清洗劑主要是硫酸、硝酸、鹽酸、氫氟酸、雙氧水、氨水。有機清洗劑主要是甲苯、乙醇和丙酮�；瘜W清洗劑主要控制其不溶物含量、重金屬含量和鉀、鈉等有害雜質(zhì)含量。目前電子器件生產(chǎn)研制單位一般不具備化學試劑中微量雜質(zhì)的檢測手段，但要按控制指標要求定點購買，并委托第三方定期進行有關的質(zhì)量檢測。
化學試劑中雜質(zhì)的控制方法主要有：
①采用干法工藝取代濕法工藝。
②超凈高純試劑的儲存、運輸容器應滿足具有對化學品的惰性和不滲透性；與多數(shù)酸、堿和溶劑不反應，不滲入聚合物中的基本要求。目前廣泛使用的材料主要有高密度聚乙烯( HDPE)、四氟乙烯、全氟烷基乙烯、基醚共聚物（PFA亦稱可溶性四氟乙烯）和聚四氟乙烯(PTFE)。
③在亞微米、深亞微米工藝生產(chǎn)線中，可用現(xiàn)場顆粒監(jiān)控體系監(jiān)控電子級水，工藝化學品管線供應系統(tǒng)和清洗槽、蝕刻槽。清洗、蝕刻槽體系包括溶液再循環(huán)過濾系統(tǒng)和顆粒檢測。顆粒在線檢測傳感器（通常使用固體激光二極管）可檢測出尺
寸為0.08 pLm的顆粒。應用數(shù)據(jù)處理系繞，可連續(xù)監(jiān)控顆粒變化和污染的出現(xiàn)，改進產(chǎn)品工藝可靠性控制，提高產(chǎn)品的成品率和可靠性。
化學試劑中雜質(zhì)的控制方法主要有：
①采用干法工藝取代濕法工藝。
②超凈高純試劑的儲存、運輸容器應滿足具有對化學品的惰性和不滲透性；與多數(shù)酸、堿和溶劑不反應，不滲入聚合物中的基本要求。目前廣泛使用的材料主要有高密度聚乙烯( HDPE)、四氟乙烯、全氟烷基乙烯、基醚共聚物（PFA亦稱可溶性四氟乙烯）和聚四氟乙烯(PTFE)。
③在亞微米、深亞微米工藝生產(chǎn)線中，可用現(xiàn)場顆粒監(jiān)控體系監(jiān)控電子級水，工藝化學品管線供應系統(tǒng)和清洗槽、蝕刻槽。清洗、蝕刻槽體系包括溶液再循環(huán)過濾系統(tǒng)和顆粒檢測。顆粒在線檢測傳感器（通常使用固體激光二極管）可檢測出尺
寸為0.08 pLm的顆粒。應用數(shù)據(jù)處理系繞，可連續(xù)監(jiān)控顆粒變化和污染的出現(xiàn)，改進產(chǎn)品工藝可靠性控制，提高產(chǎn)品的成品率和可靠性。
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公網(wǎng)安備44030402000607
