超純水的質(zhì)量控制要求
發(fā)布時(shí)間:2012/4/28 19:37:14 訪問次數(shù):1063
微電子器件工藝對超純L6563水的質(zhì)量要求主要有六項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)：
①電阻率：16MCI．cm以上。
②粒子含量：少于130個(gè)/cm3(粒徑≤0.5 ptm)。
③溶解的氣體：少于220ppm。
④總的電介質(zhì)：少于35ppb。
⑤有機(jī)物：少于lppb。
⑥微生物：少于9個(gè)/cn3。
表4. 21是不同方法制取的純化水質(zhì)量比較，不同工藝對水質(zhì)的要求不同，應(yīng)有相應(yīng)的具體規(guī)定。
微電子器件工藝對超純L6563水的質(zhì)量要求主要有六項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)：
①電阻率：16MCI．cm以上。
②粒子含量：少于130個(gè)/cm3(粒徑≤0.5 ptm)。
③溶解的氣體：少于220ppm。
④總的電介質(zhì)：少于35ppb。
⑤有機(jī)物：少于lppb。
⑥微生物：少于9個(gè)/cn3。
表4. 21是不同方法制取的純化水質(zhì)量比較，不同工藝對水質(zhì)的要求不同，應(yīng)有相應(yīng)的具體規(guī)定。
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