復(fù)旦大學(xué)于2010年使用MEMS結(jié)構(gòu)的紅外輻射源與紅外探測器，在一個中空光纖中集成制造了新型CO，紅外傳感器[48]．該器件使用了中空光纖氣室進(jìn)而實現(xiàn)了小于lOs的響應(yīng)速度。另外，中科院微電子所于2010年提出了基于光子晶體陣列濾波器結(jié)構(gòu)的紅外MEMS氣體傳感器[49]，AD7528JPZ能夠?qū)崿F(xiàn)針對多種氣體探測的高靈敏度探測。

   我國每年需要的近10000套尾氣分析儀核心傳感器都需要從國外進(jìn)口，用于連續(xù)污染物監(jiān)測系統(tǒng)的關(guān)鍵分析部件國產(chǎn)化率也很低，用于麻醉無創(chuàng)監(jiān)護(hù)的呼氣C02傳感器，以及用于安全監(jiān)測領(lǐng)域的紅外瓦斯傳感器和紅外可燃?xì)怏w變送器在國內(nèi)還是一片空白。紅外氣體檢測技術(shù)在我國無論是在用新技術(shù)改造傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)，還是在替代進(jìn)口各方面都有明顯的優(yōu)勢，應(yīng)用范圍廣泛，具有明顯的社會效益和經(jīng)濟(jì)效益‘50-533。

   由于紅外氣體檢測技術(shù)在各個經(jīng)濟(jì)領(lǐng)域日益顯示出了重要作用，各工業(yè)發(fā)達(dá)國家都在積極研究中。隨著通信技術(shù)的發(fā)展，使得以往研制紅外氣體傳感器需要的器件成本大大下降，新技術(shù)、新材料、新元件、新工藝的發(fā)展‘54]，使得新型紅外氣體檢測儀的研制得到了技術(shù)上的有力保障，如自動校零、線性輸出、干擾誤差的消除等都已成為現(xiàn)實。