在垂直式反應(yīng)爐中，更均勻的OM6357EL1/3C5/7（層流）氣流使得工藝均勻度得到加強(qiáng)。在水平式反應(yīng)爐咀，蓖力會(huì)使混合的氣體產(chǎn)生分離傾向。在垂直式反應(yīng)爐中，氣體平行運(yùn)動(dòng)，使重力造成氣體分離的問題影響減到最小，舟的旋轉(zhuǎn)使湍流產(chǎn)生的可能性減到最小。垂直式反應(yīng)爐產(chǎn)生的工藝漂移量?jī)H為水平式反應(yīng)爐生產(chǎn)的60%15．

   伴隨著水平式反應(yīng)爐中石英舟容易產(chǎn)生的刮擦爐管內(nèi)壁而產(chǎn)生顆粒的問題，在垂直式反應(yīng)爐中被徹底解決了，并且潔凈系統(tǒng)范圍中需要的裝卸區(qū)面積更小16。

   一個(gè)最具吸引力的方面是垂直式反應(yīng)爐的占地面積很小。該系繞小于傳統(tǒng)的4層系統(tǒng)。垂直式反應(yīng)爐提供r在凈化間外面裝載晶圓的可能性，這只需讓裝載入口開在凈化間內(nèi)。在這種布局里，反應(yīng)爐在凈化間的占地面積為零。維修可以在維修區(qū)進(jìn)行。另一個(gè)可能_的布局是把垂直式反應(yīng)爐按島塊／集群布置。幾臺(tái)反應(yīng)爐圍繞一個(gè)機(jī)械手分布，這個(gè)機(jī)械手可以分別給幾臺(tái)反應(yīng)爐裝片。這樣設(shè)計(jì)更簡(jiǎn)單，設(shè)備可靠性更高，維修費(fèi)用更低，正常運(yùn)行時(shí)間更長(zhǎng)。垂直式反應(yīng)爐可以配置成在晶圓制造中需要的氧化、擴(kuò)散、退火和淀積的任一種工藝。

   對(duì)于垂直式反應(yīng)爐，自動(dòng)化是一個(gè)巨大的優(yōu)勢(shì)。由傳遞晶圓的機(jī)器人從一個(gè)FOUP將晶圓裝載在一個(gè)靠近1級(jí)環(huán)境的爐子承片架上。同樣，升溫和降溫更快，并且占地面積也明顯比堆疊的水平式爐管小。

   垂直式反應(yīng)爐的優(yōu)點(diǎn)：

  ·適用大直徑晶圓

  ·更嚴(yán)格的溫度控制（轉(zhuǎn)動(dòng)）

  ·改善了氧化層的均勻性

   ·更快的升溫和降溫

   ·在裝卸臺(tái)中更潔凈的工藝環(huán)境

   ·自動(dòng)化兼容