手動(dòng)裝載晶圓：OPA277U晶圓被放在聚四氟乙烯( Teflon)或其派生物制成的承載器[也稱“舟”(bc，at)或“片架”(c：assette)]中進(jìn)行清洗步驟，然后被轉(zhuǎn)移到石英或碳化硅的承載器中進(jìn)行反應(yīng)爐反應(yīng)。

   對(duì)于這些傳遞較小晶圓的操作是用真空吸筆或有限度加緊的鑷子（見圖7. 29）。盡管通常避免使用鑷子，還是有為大直徑晶圓設(shè)計(jì)的鑷子。真空吸筆連著真空氣源，從晶圓背面吸取晶圓。這樣設(shè)計(jì)可以將對(duì)敏感的晶圓正面的損傷和污染減到最小．大部分傳遞晶圓的機(jī)械手沿著圓周抓取不同的點(diǎn)，取決于晶圓的直徑和鶯量。