光刻膠被應(yīng)用在印刷工業(yè)上已經(jīng)超過(guò)一個(gè)世紀(jì)了。在20世紀(jì)20年代，AD8614ARTZ-REEL人們才發(fā)現(xiàn)它在印制電路板領(lǐng)域可以有廣泛的應(yīng)用。半導(dǎo)體工業(yè)采納這種技術(shù)來(lái)生產(chǎn)晶圓是在20世紀(jì)50年代。在20世紀(jì)50年代末，Eastman Kodak和Shipley公司分別設(shè)計(jì)出適合半導(dǎo)

體T業(yè)需要的正膠和負(fù)膠。

   光刻膠是光刻工藝的核心。準(zhǔn)備、烘焙、曝光、刻蝕和去除藝會(huì)根據(jù)特定的光刻膠性質(zhì)和想達(dá)到的預(yù)期結(jié)果而進(jìn)行微調(diào)。光刻膠的選擇和光刻膠工藝的研發(fā)是一項(xiàng)非常漫長(zhǎng)而復(fù)雜的過(guò)程。一旦一種光刻工藝被建立，是極少改變的。

   光刻膠的生產(chǎn)既是為了普通的需求，也是為了特定的需求。它們會(huì)根據(jù)不同光的波長(zhǎng)和不同的曝光源而進(jìn)行調(diào)試。光刻膠具有特定的熱流動(dòng)性特點(diǎn)，用特定的方法配制而成，與特定的表面結(jié)合，．這些屬性是由光刻膠里不同化學(xué)成分的類型、數(shù)量以及混合過(guò)程來(lái)決定的。在光刻膠瞿有4種基本的成分（見(jiàn)圖8. 10）：聚合物、溶劑、感光劑和添加劑（見(jiàn)第10章）。