作為軟烘焙加熱源，EL5202IYZ微波具有紅外線加熱的優(yōu)點(diǎn)，而且由于微波所帶的能量更高，因此加熱速度更快。軟烘焙溫度在1分鐘內(nèi)就完全可以達(dá)到。簡(jiǎn)短的時(shí)間適用于“載片器”軟烘焙。旋轉(zhuǎn)后，立刻將微波源導(dǎo)向晶圓，從而完成軟烘焙（見(jiàn)圖8. 38）。

    對(duì)于一定數(shù)量的工藝步驟，真空烘焙提供了幾大優(yōu)點(diǎn)。真空烘箱與  罔8. 38微波加熱對(duì)流烘箱的構(gòu)造相似，只不過(guò)是連接到一個(gè)真空源。真空對(duì)于蒸發(fā)過(guò)程特別有效，這是因?yàn)闇p小的壓力有助于溶劑的蒸發(fā)，于是就減少了對(duì)溫度的依賴。然而，對(duì)f軟烘焙，晶圓必須加熱到一個(gè)均衡的溫度。由于在真空蜞箱中加熱是靠熱反應(yīng)室內(nèi)壁向晶圓輻射，由此就會(huì)產(chǎn)生一個(gè)問(wèn)題。這種熱傳遞方式有時(shí)被稱為瞄準(zhǔn)線式（line-of-sight），為r得到均勻性，每片晶圓都必須有各自對(duì)熱源明確的瞄準(zhǔn)線。在一個(gè)箱型真空烘箱中，排滿了豎直夾持晶圓的承片器，這個(gè)條件就不能滿足了，大多數(shù)真空烘箱所得到的溫度均勻性都很差。，

   真空和均勻熱板加熱的益處可以通過(guò)內(nèi)置式，單片晶圓熱板系統(tǒng)來(lái)獲得。圖8. 39總結(jié)了各種不同的軟烘焙方式。