在第9章中，ADS7870EA各向異性刻蝕的概念用來說明形成豎直（或接近豎直）刻蝕側(cè)墻的一種方法。當(dāng)刻蝕層實際上是多層不同材料疊在一起時，該問題變得更復(fù)雜[見圖10. 40(a)]。使用選擇性比較差的刻蝕劑會形成寬度不同的層面[見圖10. 40(b)]。多層刻蝕輪廓控制必須綜合考慮刻蝕劑化學(xué)成分、功率水平、系統(tǒng)壓力和設(shè)計。

   學(xué)習(xí)完本章后，你應(yīng)該能夠：

   1．描述4種與曝光有關(guān)的效應(yīng)，這4種效應(yīng)都會引起光刻圖形畸變。

   2．描繪雙層光刻膠工藝的截面流程圖。

   3．描繪雙大馬士革制程工藝的截面流程圖。

   4．列舉兩種平坦化技術(shù)。

   5．說出圖形反轉(zhuǎn)工藝的優(yōu)點。

   6．描述抗反射涂層、反差增強(qiáng)涂層和光刻膠染色劑是怎樣改進(jìn)分辨率的。

   7．識別光刻掩模版的薄膜部分并講出它對光刻工藝的貢獻(xiàn)。