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擴(kuò)散的概念

發(fā)布時(shí)間:2015/11/4 22:24:04 訪問次數(shù):1420

   擴(kuò)散摻雜T藝的開發(fā)是半導(dǎo)體生產(chǎn)的一個(gè)重要進(jìn)步。擴(kuò)散是一種材料通過另一種材料的運(yùn)動(dòng),ADS7881IPFBR是一種自然的化學(xué)過程,在日常生活中有很多例子。擴(kuò)散的發(fā)生需要兩個(gè)必要的條件。第一,一種材料的濃度必須高于另外一種材料的濃度。第二,系統(tǒng)內(nèi)部必須有足夠的能量使高濃度的材料進(jìn)入或通過另一種材料。氣相擴(kuò)散的一個(gè)例子就是常見的充壓噴霧罐(見圖11.2),比如房間除臭劑。按下噴嘴時(shí),帶有壓力的物質(zhì)離開罐子進(jìn)入到附近的空氣中。此后,擴(kuò)散過程使得氣體移動(dòng)分布到整個(gè)房間。這種移動(dòng)在噴嘴被按開時(shí)開始,并且在噴嘴關(guān)閉后還會(huì)繼續(xù)。只要前面的噴霧引入的濃度高于空氣中的濃度,這種擴(kuò)散過程就會(huì)一直繼續(xù)。隨著物質(zhì)遠(yuǎn)離噴霧罐,物質(zhì)的濃度會(huì)逐漸降低。這是擴(kuò)散過程的一個(gè)特性。擴(kuò)散會(huì)一直繼續(xù),直到整個(gè)房間的濃度均一為止。

   一滴墨水滴入一杯水中時(shí),展現(xiàn)的就是液態(tài)擴(kuò)散的另一個(gè)例子。墨水的濃度高于周邊水的濃度,于是立即向杯中的水?dāng)U散。,擴(kuò)散過程會(huì)一直繼續(xù),直到整杯水有相同的顏色為止。這個(gè)例子還可以用來說明能量對(duì)擴(kuò)散過程的影響。如果杯中的水被加熱(給予水更多的能量),墨水會(huì)更快地散布在杯中。

        

   當(dāng)摻雜的晶圓暴露接觸面比晶圓內(nèi)雜質(zhì)原子濃度更高時(shí),會(huì)發(fā)生相同的擴(kuò)散現(xiàn)象。這被稱為固態(tài)( solid-state)擴(kuò)散。這些規(guī)則支配丁一種摻雜物每次穿過主晶圓的運(yùn)動(dòng),晶圓穿過一個(gè)溫度高到足以引起雜質(zhì)運(yùn)動(dòng)的高溫過程,例如在離子注入后的退火】:藝過程;蛘,雜質(zhì)一進(jìn)入品圓,就將保持運(yùn)動(dòng)。必須考慮這些動(dòng)和制造工藝的設(shè)計(jì)規(guī)則經(jīng)常要被雜質(zhì)的總的熱預(yù)算( total thermal budget)來表征。


   擴(kuò)散摻雜T藝的開發(fā)是半導(dǎo)體生產(chǎn)的一個(gè)重要進(jìn)步。擴(kuò)散是一種材料通過另一種材料的運(yùn)動(dòng),ADS7881IPFBR是一種自然的化學(xué)過程,在日常生活中有很多例子。擴(kuò)散的發(fā)生需要兩個(gè)必要的條件。第一,一種材料的濃度必須高于另外一種材料的濃度。第二,系統(tǒng)內(nèi)部必須有足夠的能量使高濃度的材料進(jìn)入或通過另一種材料。氣相擴(kuò)散的一個(gè)例子就是常見的充壓噴霧罐(見圖11.2),比如房間除臭劑。按下噴嘴時(shí),帶有壓力的物質(zhì)離開罐子進(jìn)入到附近的空氣中。此后,擴(kuò)散過程使得氣體移動(dòng)分布到整個(gè)房間。這種移動(dòng)在噴嘴被按開時(shí)開始,并且在噴嘴關(guān)閉后還會(huì)繼續(xù)。只要前面的噴霧引入的濃度高于空氣中的濃度,這種擴(kuò)散過程就會(huì)一直繼續(xù)。隨著物質(zhì)遠(yuǎn)離噴霧罐,物質(zhì)的濃度會(huì)逐漸降低。這是擴(kuò)散過程的一個(gè)特性。擴(kuò)散會(huì)一直繼續(xù),直到整個(gè)房間的濃度均一為止。

   一滴墨水滴入一杯水中時(shí),展現(xiàn)的就是液態(tài)擴(kuò)散的另一個(gè)例子。墨水的濃度高于周邊水的濃度,于是立即向杯中的水?dāng)U散。,擴(kuò)散過程會(huì)一直繼續(xù),直到整杯水有相同的顏色為止。這個(gè)例子還可以用來說明能量對(duì)擴(kuò)散過程的影響。如果杯中的水被加熱(給予水更多的能量),墨水會(huì)更快地散布在杯中。

        

   當(dāng)摻雜的晶圓暴露接觸面比晶圓內(nèi)雜質(zhì)原子濃度更高時(shí),會(huì)發(fā)生相同的擴(kuò)散現(xiàn)象。這被稱為固態(tài)( solid-state)擴(kuò)散。這些規(guī)則支配丁一種摻雜物每次穿過主晶圓的運(yùn)動(dòng),晶圓穿過一個(gè)溫度高到足以引起雜質(zhì)運(yùn)動(dòng)的高溫過程,例如在離子注入后的退火】:藝過程;蛘,雜質(zhì)一進(jìn)入品圓,就將保持運(yùn)動(dòng)。必須考慮這些動(dòng)和制造工藝的設(shè)計(jì)規(guī)則經(jīng)常要被雜質(zhì)的總的熱預(yù)算( total thermal budget)來表征。


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