淀積摻雜的硅層
發(fā)布時間:2015/11/6 19:34:30 訪問次數(shù):474
如下這砦增加的層在器件AD7548TQ或電路的結(jié)構(gòu)中起著各種不同的作用:
·淀積摻雜的硅層,稱為外延層( epitaxial layer)(見本章的相關(guān)部分)
·金屬問的絕緣介質(zhì)層( IMD)
·垂直(溝槽)電容器
·金屬間互連導(dǎo)電寨
·金屬導(dǎo)體層
·最終的鈍化層
薄層的淀積主要采用兩種方法:化學(xué)氣相淀積( CVD)和物理氣相淀積(PVD)。有關(guān)蒸發(fā)和濺射的金屬化淀積技術(shù)將在第13章中給予描述。本章中提到的特殊薄膜的用途將在第16章和第17章中進行詳細講解。本章介紹化學(xué)氣相淀積( CVD)在常壓和低壓技術(shù)中
的實際運用。
如下這砦增加的層在器件AD7548TQ或電路的結(jié)構(gòu)中起著各種不同的作用:
·淀積摻雜的硅層,稱為外延層( epitaxial layer)(見本章的相關(guān)部分)
·金屬問的絕緣介質(zhì)層( IMD)
·垂直(溝槽)電容器
·金屬間互連導(dǎo)電寨
·金屬導(dǎo)體層
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薄層的淀積主要采用兩種方法:化學(xué)氣相淀積( CVD)和物理氣相淀積(PVD)。有關(guān)蒸發(fā)和濺射的金屬化淀積技術(shù)將在第13章中給予描述。本章中提到的特殊薄膜的用途將在第16章和第17章中進行詳細講解。本章介紹化學(xué)氣相淀積( CVD)在常壓和低壓技術(shù)中
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