膜厚的f涉或反射測量技術(shù)可以實現(xiàn)自動化。勾了理解這個方法， IRF2807PBF讓我們先嘲顧一下1：涉效應(yīng)。事實上光是能量的一種形式。因此干涉現(xiàn)象同樣可以以能量的形式進(jìn)行描述：、白光實際E是一束光線（不同顏色），其中每一種光都具有不同的能量。當(dāng)光線通過透明的薄膜相干涉時，就會得到一種顏色、一種波長和一種能量水平的光束。這時我們的眼睛就把這種特定的能量形式認(rèn)為是一種顏色。    

   分光光度計是一種用光電管代替人眼的自動干預(yù)設(shè)備。在紫外線范圍內(nèi)的單色光被樣品反射回來，并且通過光電管進(jìn)行分析。為f確保準(zhǔn)確，讀數(shù)將在不同的測試情況下進(jìn)行。測試情況的改變是通過改用另外一種單色光（改變波長），或者改變光的入射角度來實現(xiàn)的。目前為了應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)而特別設(shè)計的分光光度計配置有在線計算機(jī)，并具有改變測量情況和計算膜厚度的功能。帶有可見光和紫外線光源的設(shè)備能夠測量膜厚度到i00 A的水平411。

   反射系數(shù)的測量也是在這些儀器上實現(xiàn)的，分光光度計也可用于硅膜厚度的測量，但因為硅相對于紫外線是不透明的，因此這里我們采用了紅外線光源，