當(dāng)鍍膜變得越來(lái)越厚時(shí)，IRF2804晶圓的顏色就會(huì)按照一個(gè)特定順序變化，并不斷重復(fù)。我們把每一個(gè)顏色的重復(fù)稱為一個(gè)順序( order)。因此為了準(zhǔn)確判定膜厚，了解顏色變化的規(guī)則是十．分必要的，、顏色規(guī)則表的主要用途是為了工藝控制。

   每一個(gè)氧化和氮化硅工藝的設(shè)立都是為了產(chǎn)生一定的厚度。自然地在批次與批次之間，厚度會(huì)有差異。操作人員需要對(duì)晶圓的顏色有高度敏感性。當(dāng)晶圓的顏色發(fā)生變化時(shí)，需要迅速核對(duì)表格，判斷薄膜厚度是否已經(jīng)超出了規(guī)范。工藝差到超出整個(gè)顏色對(duì)照表是很少見的。通過顏色表格對(duì)膜厚度進(jìn)行精確的判定是受對(duì)顏色的準(zhǔn)確理解所限制的（例如，什么是確切的橘紅色的概念？），一般情況下，一個(gè)典型的表格可以精確到±300 A，、

   分光光度計(jì)或反射計(jì)

   膜厚的f涉或反射測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。勾了理解這個(gè)方法，讓我們先嘲顧一下1：涉效應(yīng)。事實(shí)上光是能量的一種形式。因此干涉現(xiàn)象同樣可以以能量的形式進(jìn)行描述：、白光實(shí)際E是一束光線（不同顏色），其中每一種光都具有不同的能量。當(dāng)光線通過透明的薄膜相干涉時(shí)，就會(huì)得到一種顏色、一種波長(zhǎng)和一種能量水平的光束。這時(shí)我們的眼睛就把這種特定的能量形式認(rèn)為是一種顏色。