劃片
發(fā)布時(shí)間:2015/11/15 14:09:20 訪問次數(shù):1713
傳統(tǒng)芯片的封裝工藝始于將晶圓分離成單個(gè)的芯片。劃片有兩種方法: TMS320DM6437ZWT6劃片分離或鋸片分離(見圖18. 15).,對(duì)于凸點(diǎn)或焊球工藝,劃片是在晶圓上建立凸點(diǎn)或焊殊系統(tǒng)之后。
鋸片法:較厚的晶圓使得鋸片法發(fā)展成為劃片工藝的首選方法。鋸片機(jī)由下列部分組成:可旋轉(zhuǎn)的晶圓載臺(tái),自動(dòng)或手動(dòng)的劃痕定位影像系統(tǒng)和一一個(gè)鑲有鉆石的圓形鋸片。此工藝使用_『兩種技術(shù),且每種技術(shù)開始都用鉆石鋸片從芯片劃線上經(jīng)過。對(duì)于薄的晶片,鋸片降低到晶片的表面劃出一條深入晶片厚度1/3的淺槽。芯片分離的方法仍沿用劃片法中所述的圓柱滾軸加壓法。第二種劃片的方法是用鋸片將晶圓完全鋸開成單個(gè)芯片。
通常,對(duì)要被完全鋸開的晶圓,首先將其貼在一張彈性較好的塑料膜上。在芯片被分離后,還會(huì)繼續(xù)貼在塑料膜上,這樣會(huì)對(duì)下一步提取芯片的工藝有所幫助。由于鋸片法劃出的芯片邊緣效果較好,同時(shí)芯片的側(cè)面也較少產(chǎn)生裂紋和崩角(見圖18. 16),所以鋸片法一直是劃片工藝的首選方法。
劃片法:劃片法(scribing)或鉆石劃片法(diamond scribing)是工業(yè)界開發(fā)的第一代劃片技術(shù)。此方法要求用鑲有鉆石尖端的劃片器從劃線的中心劃逑,并通過折彎晶圓將芯片分離。當(dāng)晶片厚度超過lo mil時(shí),劃片法的可靠性就會(huì)降低。
傳統(tǒng)芯片的封裝工藝始于將晶圓分離成單個(gè)的芯片。劃片有兩種方法: TMS320DM6437ZWT6劃片分離或鋸片分離(見圖18. 15).,對(duì)于凸點(diǎn)或焊球工藝,劃片是在晶圓上建立凸點(diǎn)或焊殊系統(tǒng)之后。
鋸片法:較厚的晶圓使得鋸片法發(fā)展成為劃片工藝的首選方法。鋸片機(jī)由下列部分組成:可旋轉(zhuǎn)的晶圓載臺(tái),自動(dòng)或手動(dòng)的劃痕定位影像系統(tǒng)和一一個(gè)鑲有鉆石的圓形鋸片。此工藝使用_『兩種技術(shù),且每種技術(shù)開始都用鉆石鋸片從芯片劃線上經(jīng)過。對(duì)于薄的晶片,鋸片降低到晶片的表面劃出一條深入晶片厚度1/3的淺槽。芯片分離的方法仍沿用劃片法中所述的圓柱滾軸加壓法。第二種劃片的方法是用鋸片將晶圓完全鋸開成單個(gè)芯片。
通常,對(duì)要被完全鋸開的晶圓,首先將其貼在一張彈性較好的塑料膜上。在芯片被分離后,還會(huì)繼續(xù)貼在塑料膜上,這樣會(huì)對(duì)下一步提取芯片的工藝有所幫助。由于鋸片法劃出的芯片邊緣效果較好,同時(shí)芯片的側(cè)面也較少產(chǎn)生裂紋和崩角(見圖18. 16),所以鋸片法一直是劃片工藝的首選方法。
劃片法:劃片法(scribing)或鉆石劃片法(diamond scribing)是工業(yè)界開發(fā)的第一代劃片技術(shù)。此方法要求用鑲有鉆石尖端的劃片器從劃線的中心劃逑,并通過折彎晶圓將芯片分離。當(dāng)晶片厚度超過lo mil時(shí),劃片法的可靠性就會(huì)降低。
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