CVD是建立在化學反應基礎上的,要制備特定性能的材料首先要選定一個合理的沉積反應。AD7892ARZ-1用于CVD技術的化學反應主要有6大類,分別是熱分解反應、氫還原反應、復合還原反應、氧化反應和水解反應、金屬還原反應以及生成氮化物和碳化物的反應。

   熱分解反應

   熱分解反應是最簡單的沉積反應,一般在簡單的單溫區(qū)爐中進行。首先在真空或惰性氣氛下將襯底加熱到一定溫度,然后導入反應氣態(tài)源物質使之發(fā)生熱分解,最后在襯底上沉積出所需的固態(tài)材料。熱分解反應可應用于制備金屬、半導體及絕緣材料等。

   最常見的熱分解反應有4種,包括氫化物分解、金屬有機化合物的熱分解、氫化物和金屬有機化合物體系的熱分解以及其他氣態(tài)絡合物及復合物的熱分解。例如,以下反應均屬于熱分解反應。