雙層進(jìn)出通道。維修區(qū)CY6116A-55DMB還可作為次潔凈室來(lái)儲(chǔ)存物料和供給,它們通過(guò)雙層進(jìn)出通道進(jìn)入潔凈室,這可保持潔凈室的潔凈度。進(jìn)出通道可以是一個(gè)雙層門(mén)的盒子,或者是供給正壓過(guò)濾空氣,并有防止進(jìn)出門(mén)同時(shí)打開(kāi)的互鎖裝置。通常進(jìn)出通道裝有高效顆粒收集(Ⅲgh Efflciency Particle Amass,HEPA)過(guò)濾器,所有進(jìn)入潔凈室的物品與設(shè)備都須在進(jìn)入前經(jīng)過(guò)凈化處理。空氣壓力控制系統(tǒng)。嚴(yán)格防止空氣污染的廠房在設(shè)計(jì)方案上要平衡超凈間、更衣間和廠區(qū)的空氣壓力。通常超凈間的空氣壓力最高,更衣間次之,廠區(qū)和走廊最低。這樣當(dāng)超凈間的門(mén)打開(kāi)時(shí),超凈間相對(duì)高的空氣壓力可以防止空氣中的灰塵進(jìn)入。凈鞋器和手套清洗器。用凈鞋器去除鞋套和鞋側(cè)的灰塵。用手套清洗器清洗手套并烘干。

   防靜電設(shè)施。靜電會(huì)吸附空氣和工作服中的塵埃,容易影響晶圓上高密度的集成電路的制造和性能。靜電產(chǎn)生于兩種不同靜電勢(shì)的材料接觸或摩擦,帶過(guò)剩負(fù)電荷的原子被相鄰的帶正電荷的原子吸引,這種由吸引產(chǎn)生的電流泄放電壓可以高達(dá)幾萬(wàn)伏。