布線幾何形狀的影響。從統(tǒng)計觀HBB152-A點看,金屬條是由許多含有結(jié)構(gòu)缺陷的體積元串接而成的,則薄膜的壽命將由結(jié)構(gòu)缺陷最嚴(yán)重的體積元決定。若單位長度的缺陷數(shù)目是常數(shù),隨著膜長的增加,總?cè)毕輸?shù)也增加。所以膜條越長壽命越短,壽命隨布線長度而呈指數(shù)函數(shù)縮短,在某值趨近恒定。

   同樣,當(dāng)線寬比材料晶粒直徑大時,線寬越大,引起橫向斷條的空洞形成時間越長,壽命越長。當(dāng)線寬降到與金屬晶粒直徑相近或以下時,斷面為一單個晶粒,金屬粒子沿晶粒界面擴散減少,隨著條寬變窄,壽命也會延長。

   電流恒定時線寬增加,電流密度降低,本身電阻及發(fā)熱量降低,電遷移效應(yīng)就不顯著。如果線條橫截面積確定,在條件允許的情況下,增加線寬比增加厚度效果更好。

   在臺階處,由于布線形成過程中臺階覆蓋性不好,厚度降低,電流密度增加,易產(chǎn)生失效。