一般情況下昭的值為2,并且冼cσ)與煉(T)都與溫度r有指數(shù)關(guān)系。金屬離HBB15-1.5-A子運(yùn)動(dòng)的結(jié)果是在陰極局部形成空洞,造成開(kāi)路失效,在陽(yáng)極局部形成小丘造成“短路失效”。圖5.13所示是鋁金屬互連線的電遷移效應(yīng)產(chǎn)生的局部空洞現(xiàn)象。

   圖5.14所示是電遷移加速壽命試驗(yàn)的數(shù)據(jù)。電遷移失效的內(nèi)因是薄膜導(dǎo)體內(nèi)結(jié)構(gòu)的非均勻性,外因是電流密度。

  圖513 鋁金屬互連線的電遷移效應(yīng)產(chǎn)生的局部空洞現(xiàn)象

  圖514 電遷移效應(yīng)的加速壽命試驗(yàn)

   一般而言,鋁互連線表面覆蓋著一層氧化層薄膜,因此電導(dǎo)率會(huì)降低,使它難以發(fā)生電遷移。通常認(rèn)為電遷移往往發(fā)生在晶粒的邊界上。但是,當(dāng)鋁線的寬度縮小,使互連線的橫截面只有一個(gè)晶粒的尺寸(竹節(jié)結(jié)構(gòu),BambOo哎ruCmre),晶界的擴(kuò)散(Grain boundaγ d踟sion)路徑減小,因此電遷移就會(huì)由原來(lái)的晶界擴(kuò)散轉(zhuǎn)變?yōu)榫Ц駭U(kuò)散。