圓片級(jí)可靠性技術(shù)的基本目的是評(píng)價(jià)工藝的健壯性,以減弱本征磨損機(jī)理,減 IXFM26N50少生產(chǎn)時(shí)所承擔(dān)的風(fēng)險(xiǎn),對(duì)需要校正的問題提供早期的反饋。這種方法提供的是實(shí)時(shí)反饋。按照所涉及的技術(shù),圓片級(jí)可靠性主要涉及:互連線可靠性(電遷移)、氧化膜層可靠性、熱載流子注入效應(yīng)及NBTI效應(yīng)、等離子損傷(天線效應(yīng))等。細(xì)分如下:

   (1)金屬化可靠性

   (2)連接可靠性

   (3)柵氧完整性

   (4)熱載流子注入

   (5)層間介質(zhì)層的完整性

   (6)結(jié)的完整性

   (7)可動(dòng)離子沾污

   (8)腐朽電阻和鍵合完整性

   其中4種常用的圓片級(jí)可靠性測(cè)試如下:

   (1)金屬化完整性測(cè)試

   (2)氧化層完整性測(cè)試

   (3)連接完整性測(cè)試

   (4)熱載流子注入測(cè)試

   不同的測(cè)試方法需要從失效的物理機(jī)理出發(fā),設(shè)計(jì)不同的測(cè)試結(jié)構(gòu),在高應(yīng)力條件下對(duì)失效機(jī)理的可靠性進(jìn)行評(píng)價(jià)。