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圓片級(jí)可靠性測(cè)試是一種統(tǒng)計(jì)工藝控制方法

發(fā)布時(shí)間:2016/6/26 19:57:10 訪問次數(shù):648

    圓片級(jí)可靠性測(cè)試是一種統(tǒng)計(jì)工藝控制方法,這種測(cè)試需要在特別設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)上進(jìn)行, IXFM24N50通過測(cè)試一批數(shù)據(jù)反映出工藝線的受控狀況,用于在圓片制造的早期階段檢測(cè)和消除可靠性問題。相對(duì)于傳統(tǒng)的封裝級(jí)可靠性技術(shù),圓片級(jí)可靠性技術(shù)是一種在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)技術(shù),用于快速發(fā)現(xiàn)工藝中存在的可靠性問題。

   圓片級(jí)可靠性技術(shù)由一組加速測(cè)試構(gòu)成,測(cè)試器件在高應(yīng)力條件下的參數(shù)退化,用于在圓片制造的早期階段檢測(cè)和消除可靠性問題。在一項(xiàng)新的圓片生產(chǎn)工藝或新技術(shù)的發(fā)展過程中,圓片級(jí)可靠性測(cè)試提供基本的可靠性數(shù)據(jù),快速識(shí)別潛在的本征可靠性問題。圓片級(jí)可靠性測(cè)試和常規(guī)可靠性測(cè)試相結(jié)合可以進(jìn)行可靠性的

評(píng)價(jià)和預(yù)計(jì)。

   圓片級(jí)可靠性技術(shù)的基本目的是評(píng)價(jià)工藝的健壯性,以減弱本征磨損機(jī)理,減少生產(chǎn)時(shí)所承擔(dān)的風(fēng)險(xiǎn),對(duì)需要校正的問題提供早期的反饋。這種方法提供的是實(shí)時(shí)反饋。按照所涉及的技術(shù),圓片級(jí)可靠性主要涉及:互連線可靠性(電遷移)、氧化膜層可靠性、熱載流子注入效應(yīng)及NBTI效應(yīng)、等離子損傷(天線效應(yīng))等。

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   圓片級(jí)可靠性技術(shù)由一組加速測(cè)試構(gòu)成,測(cè)試器件在高應(yīng)力條件下的參數(shù)退化,用于在圓片制造的早期階段檢測(cè)和消除可靠性問題。在一項(xiàng)新的圓片生產(chǎn)工藝或新技術(shù)的發(fā)展過程中,圓片級(jí)可靠性測(cè)試提供基本的可靠性數(shù)據(jù),快速識(shí)別潛在的本征可靠性問題。圓片級(jí)可靠性測(cè)試和常規(guī)可靠性測(cè)試相結(jié)合可以進(jìn)行可靠性的

評(píng)價(jià)和預(yù)計(jì)。

   圓片級(jí)可靠性技術(shù)的基本目的是評(píng)價(jià)工藝的健壯性,以減弱本征磨損機(jī)理,減少生產(chǎn)時(shí)所承擔(dān)的風(fēng)險(xiǎn),對(duì)需要校正的問題提供早期的反饋。這種方法提供的是實(shí)時(shí)反饋。按照所涉及的技術(shù),圓片級(jí)可靠性主要涉及:互連線可靠性(電遷移)、氧化膜層可靠性、熱載流子注入效應(yīng)及NBTI效應(yīng)、等離子損傷(天線效應(yīng))等。

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