假設(shè)恒定電壓應(yīng)力條件下和斜坡電壓應(yīng)力條件下產(chǎn)生擊穿時的電荷量是相同的, BP3102于是恒定電壓下的擊穿時間與斜坡?lián)舸╇妷褐g通過的電荷量相等,可以表示如下:

     r:D是擊穿時間(s);s是恒定電壓(V):吒:D是斜坡?lián)舸╇妷?V);R是斜坡上升速率(V/s);B是隧穿電流的指數(shù)因子(舛0×1JWcm);Jf是空穴產(chǎn)生率的指數(shù)因子(80×1JV/cm);r。x是柵氧化層的厚度(cm)。 圖77 CMOs工藝柵電容的斜坡電壓擊穿圖形

對于斜坡上升速率是5MW(cm・s)時的測量數(shù)據(jù),擊穿電流設(shè)置在10A/cm2,即12mA時,斜坡步進(jìn)時間是0.0046s,斜坡步進(jìn)電壓是0.05V,柵氧化層的厚度是17.5nm,于是計算出5V恒定工作電壓下的壽命時間如表7.5所示。