斜坡電流應(yīng)力測試是在氧化層上加上步進的電流應(yīng)力,同時連續(xù)(或者隔某一短時間間隙)測量氧化層上的電壓值,電流以對數(shù)間隔形式步進, BP3108兩個連續(xù)步進的比率則為一常數(shù)因子尸。10步進位的過程可以表示成如下形式: 求解上述方程可得到:

  Ⅳ=10,也可以是25或50。

  數(shù))之間的關(guān)系:

  得出步進時間:

  斜坡上升的電流是時間的函數(shù),累積至氧化層的電荷可以表示成是電流的步進數(shù);砜是步進時間。

  電荷密度達到以后,電流的步進數(shù)求解:

  停止電流幾top=幾FM,″是大于刀的最小整數(shù)。

在測試過程中施加的應(yīng)力特性為,斜坡電流比率:進一位/500ms;電壓測量的最大時間間隔:小于50ms或每電流步進一次;最大電荷密度:50c/cm2;最小電壓容量界限:15MWcm;最大電流步增因子:10的平方根,近似為3.2,持續(xù)期間的步進必須一致。