影響Foundry線質(zhì)量與可靠性的管理要素有凈化間的溫濕度控制、設(shè)備校準(zhǔn)與維護(hù)、BP3315人員引起的污染預(yù)防、掃描電鏡檢查及能譜分析、內(nèi)部目檢、生產(chǎn)工藝的sPC控制等。

   凈化間內(nèi)的溫、濕度應(yīng)符合下列規(guī)定:滿足生產(chǎn)工藝要求,生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時,凈化間的溫度為⒛~26℃,濕度小于70%,人員凈化間和生活間的溫度為16~28℃。凈化間內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量,其數(shù)值應(yīng)取下列風(fēng)量中的最大值:亂流凈化間送風(fēng)量的10%~30%,層流凈化間總送風(fēng)量的2%~4%,補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量,保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小

于40m3。儀器設(shè)備應(yīng)定期進(jìn)行計量。對所有計量合格的設(shè)各實行標(biāo)志化管理,根據(jù)證書的結(jié)果分別貼上統(tǒng)一印制的表明設(shè)備所處校準(zhǔn)狀態(tài)的標(biāo)志,包括設(shè)各編號、檢測日期、有效日期、檢測單位。

無論什么原因,若設(shè)備脫離了直接控制,設(shè)備管理員應(yīng)確保該設(shè)備在使用前對其功能和校準(zhǔn)狀態(tài)進(jìn)行核查并能顯示合格結(jié)果。對使用頻度較高和經(jīng)常流動使用的儀器設(shè)備均應(yīng)實施兩次校準(zhǔn)之間的期間核查。