凈化間工作人員是最大的污染源之一。當(dāng)一個(gè)BP3316D人以每小時(shí)兩英里的速度走動(dòng)時(shí),他每分鐘會(huì)釋放高達(dá)五百萬(wàn)個(gè)顆粒,這些顆粒來(lái)自壞死的頭發(fā)和脫落的皮膚。其他的顆粒源還有噴發(fā)膠、化妝品、染發(fā)和暴露的衣服。唯一使工作人員適于凈化間工作的可行辦法是把人員完全包裹起來(lái),而且凈化間工作人員的凈化服材料因潔凈度的要求不同而不同。服飾材料應(yīng)不易產(chǎn)生脫落,并且含有導(dǎo)電的纖維以釋放靜電。還要權(quán)衡材料的過(guò)濾能力與操作員穿戴的舒適度。凈化間的設(shè)計(jì)和操作過(guò)程都必須防止外界污染的入侵。有9種控制外界污染的技術(shù),分別是粘著地板墊、更衣區(qū)、空氣壓力、空氣淋浴器、維修區(qū)、雙層門(mén)進(jìn)出通道、靜電控制、凈鞋器、手套清洗器。

   掃描電鏡是用聚焦得很細(xì)的電子束照射被檢測(cè)的樣品表面,用X射線能譜儀或波譜儀測(cè)量電子與樣品相互作用所產(chǎn)生的特征X射線的波長(zhǎng)與強(qiáng)度,從而對(duì)微小區(qū)域所含元素進(jìn)行定性或定量分析,并可以用二次電子或背散射電子等進(jìn)行形貌觀察,是現(xiàn)代固體材料顯微分析(微區(qū)成分、形貌和結(jié)構(gòu)分析)的最有用儀器之一, 可獲得材料和器件芯片失效的物理和化學(xué)根源。