凈化間工作人員是最大的污染源之一。當一個BP3316D人以每小時兩英里的速度走動時,他每分鐘會釋放高達五百萬個顆粒,這些顆粒來自壞死的頭發(fā)和脫落的皮膚。其他的顆粒源還有噴發(fā)膠、化妝品、染發(fā)和暴露的衣服。唯一使工作人員適于凈化間工作的可行辦法是把人員完全包裹起來,而且凈化間工作人員的凈化服材料因潔凈度的要求不同而不同。服飾材料應不易產生脫落,并且含有導電的纖維以釋放靜電。還要權衡材料的過濾能力與操作員穿戴的舒適度。凈化間的設計和操作過程都必須防止外界污染的入侵。有9種控制外界污染的技術,分別是粘著地板墊、更衣區(qū)、空氣壓力、空氣淋浴器、維修區(qū)、雙層門進出通道、靜電控制、凈鞋器、手套清洗器。

   掃描電鏡是用聚焦得很細的電子束照射被檢測的樣品表面,用X射線能譜儀或波譜儀測量電子與樣品相互作用所產生的特征X射線的波長與強度,從而對微小區(qū)域所含元素進行定性或定量分析,并可以用二次電子或背散射電子等進行形貌觀察,是現(xiàn)代固體材料顯微分析(微區(qū)成分、形貌和結構分析)的最有用儀器之一, 可獲得材料和器件芯片失效的物理和化學根源。