不同廠家相同工藝的失效機(jī)理的可靠性。對A公司和B公司的0.18umCMOs工藝HCI效應(yīng)壽命進(jìn)行了測量, BP3319MB流片情況同上,柵氧厚度均是3.2nm,器件的寬長比均是50△,測量結(jié)果如表7,10所示。從表7.10可以看出,B公司HCI效應(yīng)的壽命大于A公司的HCI效應(yīng)的壽命,而且以正向飽和電流退化10%為失效判據(jù),室溫環(huán)境條件下HCI效應(yīng)的壽命大于0.2年,這表明B公司的質(zhì)量管理體系更容易滿足用戶的使用要求。

   影響集成電路Foundry線流片質(zhì)量和可靠性的技術(shù)要素分別是溫度特性、EsD、Latch-up、HCI、TDDB、EM、歐姆接觸退化等失效機(jī)理,而管理要素分別是生產(chǎn)工藝的SPC控制、工藝監(jiān)測圖形、內(nèi)部目檢、掃描電鏡檢查及能譜分析、凈化間的溫濕度控制、人員引起的污染預(yù)防、設(shè)備校準(zhǔn)與維護(hù)等。

   通過A公司和B公司的0,18um CMOs工藝HCI效應(yīng)的可靠性試驗(yàn),檢查評定了不同F(xiàn)oundry線的質(zhì)量體系,結(jié)果表明檢查的兩家Foundry線的質(zhì)量體系的運(yùn)作還算穩(wěn)定,但不同廠家的質(zhì)量管理體系仍有一定的差距。對于設(shè)計單位來說,選擇可靠性高的工藝線進(jìn)行投片生產(chǎn),其產(chǎn)品的可靠性將會有更好的保障。