選擇最小幾何尺寸的器件,寬度可根據(jù)需要進行選擇,在最壞的偏置應(yīng)力條件下進行熱載流子注入效應(yīng)的測量,需要考慮如下的幾個因素: NDP7052確定最壞的偏置應(yīng)力條件;選擇適當(dāng)?shù)钠骷䥇?shù)來測量器件的退化程度;選用適當(dāng)?shù)募铀倌Ｐ蛠硗扑闫?/span>件在正常工作條件下的壽命。主要的退化參數(shù)有閾值電壓、跨導(dǎo)、線性區(qū)漏極電流和飽和區(qū)漏極電流。

   工藝上雖然采用了LDD結(jié)構(gòu)等方法提高了器件抗熱載流子退化的能力,但熱載流子效應(yīng)仍然是影響亞微米和深亞微米集成電路可靠性的重要因素。熱載流子效應(yīng)的影響不是一開始就很嚴(yán)重,而是隨著時間逐漸引起器件參數(shù)的退化。測試方法如表11.6所示。