電阻的溫度系數(shù)TCR(Γ):測(cè)試線電阻隨溫度的變化量,或相同金屬化的類(lèi)似結(jié)構(gòu)在某一特定溫度條件下,DSEC60-03AQ每單位溫度的電阻變化量,如JESD33中所描述的方程:

    R(‰f)是參考溫度下的測(cè)試線電阻;%f是參考溫度。

    TCR(o以參考溫度為定義依據(jù)。值得注意的是,在參考溫度下不一定需要測(cè)量測(cè)試結(jié)構(gòu)的電阻值。參考溫度通常有兩種選擇方式,即0℃或環(huán)境溫度(典型值為24~”℃),兩種方式是等效的,0℃便于不同實(shí)驗(yàn)室間或同一實(shí)驗(yàn)室不同時(shí)間試驗(yàn)的比較。

TCR(r)的值可能隨批次的不同而不同,甚至同一圓片內(nèi)的TCR(T)也可能不同。雖然確定每個(gè)測(cè)試樣品的TCRσ)不是很實(shí)際,但變化的存在卻可構(gòu)成混淆因 素。因此建議在某一工藝過(guò)程中對(duì)選定樣品進(jìn)行最小周期的觀察,最好使用與試驗(yàn)中一樣的結(jié)構(gòu)。