進行電遷移效應試驗時,金屬鋁的溫度范圍為150~3OO℃,金屬銅的溫度范圍為250~400℃。 DSEC60-04A進行電遷移效應激活能參數(shù)的提取時,需要定好電流密度的值,分別在3個不同的溫度點√冗、√馬和√冗,壩刂量一批電遷移失效數(shù)據(jù),在對數(shù)正態(tài)坐標上提取中位失效時間冗、%和%,在半對數(shù)坐標上畫出中位失效時間冗、%和%與溫度的倒數(shù)√石、√馬和√兀的對應關(guān)系。該對應關(guān)系擬合曲線的率就是激活能尻,激活能的典型值一般在0,5~0.%V之間。

   恒定溫度和恒定電流密度條件下,提取電流密度因子時,在3個不同的電流條件下,即山、J。、凡進行測量,保持溫度π不變。加速應力下CMOs工藝金屬化電遷移效應的失效時間如表11.13示。根據(jù)中位失效時間進行電遷移效應模型參數(shù)的提取,如圖11.13所示。典型失效圖形如圖11.14所示。