MOCVD尾氣中除了含有未反應(yīng)完的氫化物、MO源和某些反應(yīng)副產(chǎn)物等有毒氣體,還有很多粉塵顆粒。 A914BYW-2R2M在生產(chǎn)中必須將有粉塵和毒尾氣通過尾氣系統(tǒng)進行除塵及無害化處理,使其達到規(guī)定排放標(biāo)準(zhǔn)以下。

   一般尾氣處理系統(tǒng)主要包括真空泵前級處理和從真空泵出來后的排放處理(如圖⒈⒓所示)。在真空泵前級的尾氣處理方面,通常在反應(yīng)腔排氣口和控制反應(yīng)腔壓力的蝶閥之間增設(shè)過濾器,這樣一來,所有從反應(yīng)室排除的尾氣物質(zhì),必須先經(jīng)過過濾器(包括顆粒冷凝)濾掉直徑小于2um的粉塵,使顆粒粉塵不堵塞蝶閥或真空泵,從而保證系統(tǒng)能夠長期正常工作。紅黃光LED外延生長后的尾氣,因其包含有含As和P的附產(chǎn)物,劇毒且易燃,其處理比GaN材料外延生長后的尾氣處理要更為嚴(yán)格。通常會特別安排磷阱吸附器和毒氣吸附器(TGA)進行吸附。而且,為防止熱的尾氣在管路中的凝結(jié),會對尾氣管路進行加熱。但是,從真空泵出來的氣體仍然含有毒氣,在排放到大氣之前需要將有毒物質(zhì)濃度降低到規(guī)定排放標(biāo)準(zhǔn)以下。常用的尾氣處理方法主要有利用化學(xué)反應(yīng)吸收毒氣的濕式過濾器P叨;利用吸附劑吸附毒氣的活性炭過濾器田l];以及比較經(jīng)濟的燃燒法――通過熱分解、燃燒或使有毒物質(zhì)轉(zhuǎn)化為氧化物粉塵,再將粉塵過濾。