MOCVD生長過程復雜、信息量A914BYW-330M大,需要實時運算、處理、執(zhí)行和分析的數據紛繁復雜。這需要有優(yōu)秀、合理的智能控制與數據處理系統(tǒng)架構方案和可靠的硬件施行條件。通常,就硬件配置而言,MOCVD的智能控制系統(tǒng)主要由主機服務器和各個功能PLC模塊組成。主機一般負責材料生長過程監(jiān)控、控制系統(tǒng)的監(jiān)控界面運行、數據記錄、報警記錄、數據趨勢圖,以及操作人員的人工權限管理、指令控制與執(zhí)行功能等。各PLC模塊相應負責整個控制系統(tǒng)運行,包括各種信號采集、數據處理以及各種輸出信號控制。輸入信號包括各類儀表傳感器的流量、壓力、溫度、警報信號等;輸出信號涉及電磁閥、接觸器、電機、壓力控制器、流量控制器、加熱器等控制量�；诖�,MOcVD設備中整個智能系統(tǒng)硬件配置和任務劃分后,通過不同的人機對話界面至少完成下列能:(1)安全互鎖、報警及自發(fā)應急響應與處置功能;(2)材料生長程序的生成、運行、分析和統(tǒng)計功能:(3)程序控制和手動控制功能。