在非晶靶中,原子不顯示長程有序,故人射離子在靶中受到的碰撞過程是隨機的。當離子PG905C4RR人射到這種固體時,離子和固體原子相遇的概率是很高的。靶對入射離子的阻止作用是各向同性的,以一定能量的離子沿不同方向射人靶中將會得到相同的平均射程。但晶體材料不是這樣,由于晶體內(nèi)按一定規(guī)則周期地重復(fù)排列成晶格點陣,存在三維原子排列,具有一定的對稱性和各向異性。因此,單晶靶對人射離子的阻止作用將不是各向同性,而是與靶晶體取向有關(guān)。以s為例(如圖613所示是其不同晶向的原子排列),如果沿晶體的某些方向看去,如圖613(a)所示,可以看到由原子列包圍成的一系列平行通道,沿一定晶向存在開口的溝道。沿特定方向觀察到的通道稱為溝道。對于低指數(shù)的晶向,原子沿原子列的排列是很緊密的,因此溝道壁是由緊密地排列著原子的原子列所構(gòu)成的。當偏離晶向觀察時,則可看到原子的排列是紊亂的,而且填得很“緊密”(尤其偏離較大時),如圖613(b)所示。離子在這種情況下入射時,必然要與靶原子和電子發(fā)生嚴重的碰撞,受到較大的阻止作用,甚至發(fā)生大角度散射。所以,離子在偏斜晶軸較大的情況下入射,射程較短,其晶體幾乎呈現(xiàn)出無定形性質(zhì)。