由一個給定的仿真模型(如空問像+閾值模型)從-個初始函數(shù)(掩膜版的原始設(shè)計圖樣)來對每一個掩膜版單元進(jìn)行考察,看將其設(shè)定成“0”或者“1”對一些預(yù)先定義的考察I藝好壞的參量,或者代價函數(shù)有沒有變化。 OPB867T55如果設(shè)定成“0”對降低代價函數(shù)有利,那么就算是原先在這個單元上是“1”,或者不透明,經(jīng)過這一輪逆光刻運(yùn)算,它會被改成“透明”。經(jīng)過這樣的反復(fù)運(yùn)算,直到最后結(jié)果不再明顯變化為止。那么,這樣的掩膜版函數(shù)被認(rèn)定為優(yōu)化了的函數(shù)。常見的代價函數(shù)可以有以下幾種:

   (1)與設(shè)計圖形的差異。

   (2)與設(shè)計圖形在給定的離焦后的差異。

   (3)與設(shè)計圖形在曝光能量偏移給定量后的差異。

   (4)與設(shè)計圖形在掩膜版存在給定誤差后的差異。

   相比傳統(tǒng)的光學(xué)鄰近效應(yīng)修正,這種方法有以下優(yōu)點(diǎn):